[发明专利]难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法

摘要

难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法,采用等温挤压工艺制备旋转难熔金属靶材需要先通过冷等静压CIP压制靶材管靶胚，再通过烧结获得60%‑80%密度的难熔金属或难熔金属合金靶胚，然后将预烧结后的靶管胚装入等温挤压模具，通过采用相对较为简单的等温挤压生产流程获得高密度和低氧含量的难熔金属旋转靶材，而且不受材料限制，可使整个靶材几何尺寸、表面质量和内部组织及物理性能等都达到最佳效果，极大的提高生产率降低生产成本，尤其是可以生产多种其他工艺难于生产的难熔金属合金旋转靶材。铸造均匀，晶粒细小；致密度高，密度达到99%以上；工序简单，生产成本低。

主权项

难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法,其特征在于，采用等温挤压工艺制备旋转难熔金属靶材需要先通过冷等静压CIP压制靶材管靶胚，再通过烧结获得60%‑80%密度的难熔金属或难熔金属合金靶胚，然后将预烧结后的靶管胚装入等温挤压模具，开始加热到800℃温度，通入惰性气体氩气，然后继续加热到挤压温度开始挤压程序，在挤压期间挤压温度保持不变；具体生产步骤包括：a、把混好的难熔金属或合金粉末装在管状橡胶模具里；b、进行冷等静压成型加工；c、取出冷压成型的管坯，放入真空炉内预烧，烧结温度在1000‑1800℃，密度控制在60‑80%；d、预烧好的胚锭放在等温挤压模具内，预热模具至设定温度；e、进行等温挤压，通过反向挤压获得难熔金属管坯；f、对管坯进行机加工后，通过与衬管贴合获得难熔金属旋转靶材。