[发明专利]难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法

权利要求书

1.难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法,其特征在于，采用等温挤压工艺制备旋转难熔金属靶材需要先通过冷等静压CIP压制靶材管靶胚，再通过烧结获得60%-80%密度的难熔金属或难熔金属合金靶胚，然后将预烧结后的靶管胚装入等温挤压模具，开始加热到800℃温度，通入惰性气体氩气然后开始挤压程序，在挤压期间温度保持不变；具体生产步骤包括：

a、把混好的难熔金属或合金粉末装在管状橡胶模具里；

b、进行冷等静压成型加工；

c、取出冷压成型的管坯，放入真空炉内预烧，烧结温度在1000-1800℃，密度控制在70-80%；

d、预烧好的胚锭放在等温挤压模具内，预热模具至设定温度；

e、进行等温挤压，通过反向挤压获得难熔金属管坯；

f、对管坯进行机加工后，通过与衬管贴合获得难熔金属旋转靶材。

2.如权利要求1所述的难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法，其特征在于，等温挤压模具包括凸模、凹模、顶杆、加热电热棒、上侧面隔热保温层、下侧面隔热保温层、保护气出口、保护气入口和下模座；其中，凹模安装在下模座上侧，凹模中部有模腔，凸模下端在该模腔上端插入，挤压工件置于凸模和凹模之间的模腔中，同时，在凹模内模腔底部与凸模相对的另一端安装顶杆，在凸模和凹模外侧上、下部分别安装上侧面隔热保温层以及下侧面隔热保温层，在凹模上安装加热电热棒，上侧面隔热保温层以及下侧面隔热保温层上分别安装保护气出口、保护气入口。

3.如权利要求1所述的难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法，其特征在于，在整个挤压过程中，上、下部凸凹模上的模孔附近变形区金属的温度始终保持恒定，保持金属变形抗力和金属流动的均匀性。

4.如权利要求1所述的难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法，其特征在于，采用等温挤压工艺生产旋转金属钼铌合金靶材，把90at%的钼粉和10at%铌粉，通过三维混料机混合均匀后，装在直径为170mm的橡胶模套里，进行冷等静压，压力为180Mpa，取出冷压成型的胚锭，在真空热压烧结炉内，通过1300℃的温度烧结4h，预烧后的密度为75%；对合金锭进行外径加工后放入等温挤压模具，挤压温度为1700℃，挤压后的管坯尺寸为内径130mm，外径为160mm，密度为99.1%；挤压成型的管坯通过贴合工序，与不锈钢衬管结合，获得钼铌合金旋转靶材。

5.如权利要求1所述的难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法，其特征在于，采用等温挤压工艺生产旋转金属钨合金靶材，把90at%的钨粉和10at%钛粉，通过三维混料机混合均匀后，装在直径为170mm的橡胶模套里，进行冷等静压，压力为180Mpa，取出冷压成型的胚锭，在真空热压烧结炉内，通过1400℃的温度烧结3h，预烧后的密度为78%；对合金锭进行外径加工后放入等温挤压模具，挤压温度为1500℃.挤压后的管坯尺寸为内径130mm，外径为160mm，密度为99.5%；挤压成型的管坯通过贴合工序，与不锈钢衬管结合，获得钨钛合金旋转靶材。