[发明专利]沉积反射膜生产工艺在审

申请号：	201510202476.8	申请日：	2015-04-24
公开（公告）号：	CN104882493A	公开（公告）日：	2015-09-02
发明（设计）人：	樊选东;郭建东;杨冬生;钱明星;钱小芳	申请（专利权）人：	中建材浚鑫科技股份有限公司
主分类号：	H01L31/0216	分类号：	H01L31/0216;C23C16/02;C23C16/34
代理公司：	苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266	代理人：	李中华
地址：	214400 江苏省***	国省代码：	江苏;32
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摘要：	本发明公开了一种沉积反射膜生产工艺，其工艺步骤如下:(1).将硅片插入到石墨舟中,同时将石墨舟送入加热炉内；(2).对加热炉进行升温，并且在升温的过程中通入氨气加射频，进行预沉积工艺；(3).通入氨气和硅烷，进行沉积工艺；(4).将沉积后的硅片取出，完成整个生产工艺。通过在对加热炉升温的同时进行预沉积工艺,达到优化生产工艺和提高生产效率的目的。
搜索关键词：	沉积反射生产工艺
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【主权项】：

一种沉积反射膜生产工艺，其特征在于，工艺步骤如下:(1).将硅片插入到石墨舟中,同时将石墨舟送入加热炉内；(2).对加热炉进行升温，并且在升温的过程中通入氨气加射频，进行预沉积工艺；(3).通入氨气和硅烷，进行沉积工艺；(4).将沉积后的硅片取出，完成整个生产工艺。

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