[发明专利]电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统有效

专利信息
申请号: 201510050358.X 申请日: 2015-01-30
公开(公告)号: CN104821479A 公开(公告)日: 2015-08-05
发明(设计)人: 宫田龙介 申请(专利权)人: 发那科株式会社
主分类号: H01S3/097 分类号: H01S3/097
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 曾贤伟;文志
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统。该气体激光系统具备:激光振荡器,其包含在由于来自电源部的供给电力的下降而停止了动作后,在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备;控制装置,其控制激光振荡器;电力下降检测部;以及非易失性存储部,其存储通过电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据。控制装置根据从通过非易失性存储部中存储的时刻数据而得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间,计算设备的动作停止时间,当该动作停止时间超过预定的待机时间时,允许设备的动作重新开始,在动作停止时间在预定的待机时间以内时,禁止设备的动作重新开始。
搜索关键词: 电力 供给 恢复 短时间 损伤 启动 气体 激光 系统
【主权项】:
一种气体激光系统,其特征在于,具备:电源部;激光振荡器,其通过从该电源部提供的电力进行动作,包含在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后,在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备;控制装置,其控制上述激光振荡器;电力下降检测部,其检测低于能够使上述激光振荡器正常动作的电力值的、来自上述电源部的供给电力的下降;以及非易失性存储部,其存储通过上述电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据,上述控制装置根据从通过上述非易失性存储部中存储的时刻数据得到的上述第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间,计算上述设备的动作停止时间,当该动作停止时间超过上述预定的待机时间时,允许上述设备的动作重新开始,在上述动作停止时间在上述预定的待机时间以内时,禁止上述设备的动作重新开始。
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  • 一种用于提供激光束的方法和一种激光装置。该激光装置包括:狭长管、包括被激发以引发激光辐射的放电媒介的位于狭长管之内的狭长放电区、设置在狭长放电区的相对端部的两个DC放电电极、设置在狭长放电区的相对的狭长侧面的两个RF电极、和/或具有设置在狭长管的相对端部的两个相对的反射镜的激光谐振器,该激光谐振器在至少一个横向轴上是不稳定的。该方法包括在DC电极之间施加DC放电,并且在RF电极之间施加横穿该DC放电的RF放电。可以通过根据本发明的实施方式所提供的DC和/或RF电压源来提供DC和RF放电。
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