[发明专利]MEMS器件、压力传感器、高度计、电子设备和移动体

摘要

本发明提供MEMS器件、压力传感器、高度计、电子设备和移动体，能够减少覆盖层与功能元件接触的情况。本发明的MEMS器件具有：基板(6)；传感器元件(7)(功能元件)，其配置于基板(6)上；包围壁，其配置于基板(6)的一面侧，并在俯视时包围传感器元件(7)；覆盖层(87)，其在俯视时与基板(6)重叠，并与包围壁连接；以及加强层(821)，其配置于覆盖层(87)和传感器元件(7)之间，包围壁具有：基板侧包围壁(88)；和覆盖层侧包围壁(89)，其比基板侧包围壁(88)靠近覆盖层(87)侧，且该覆盖层侧包围壁(89)的至少一部分在俯视时被配置于比基板侧包围壁(88)靠内侧的位置。

主权项

一种MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件具备：基板；功能元件，其配置于所述基板上；包围壁，其配置于所述基板的一面侧，并在俯视时包围所述功能元件；覆盖层，其在俯视时与所述基板重叠，并与所述包围壁连接；以及加强层，其配置在所述覆盖层和所述功能元件之间，所述包围壁具有：基板侧包围壁；和覆盖层侧包围壁，其比所述基板侧包围壁靠近所述覆盖层侧，并且该覆盖层侧包围壁的至少一部分在俯视时比所述基板侧包围壁靠内侧。