[发明专利]MEMS器件、压力传感器、高度计、电子设备和移动体

权利要求书

1.一种MEMS器件，其特征在于，

所述MEMS器件具备：

基板；

功能元件，其配置于所述基板上；

包围壁，其配置于所述基板的一面侧，并在俯视时包围所述功能元件；

覆盖层，其在俯视时与所述基板重叠，并与所述包围壁连接；以及

加强层，其配置在所述覆盖层和所述功能元件之间，

所述包围壁具有：

基板侧包围壁；和

覆盖层侧包围壁，其比所述基板侧包围壁靠近所述覆盖层侧，并且该覆盖层侧包围壁的至少一部分在俯视时比所述基板侧包围壁靠内侧。

2.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中，

所述加强层具有在所述加强层的厚度方向上贯穿的贯穿孔。

3.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述加强层与所述覆盖层连接。

4.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述基板具有膜片部，所述膜片部通过受压而挠曲变形，在俯视时所述膜片部的至少一部分与所述覆盖层重叠。

5.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述功能元件的至少一部分在俯视时与所述覆盖层侧包围壁重叠。

6.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述功能元件具有压阻元件。

7.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述加强层的俯视形状包括格子状的部分。

8.一种压力传感器，其特征在于，

所述压力传感器具有权利要求1所述的MEMS器件。

9.一种高度计，其特征在于，

所述高度计具有权利要求1所述的MEMS器件。

10.一种电子设备，其特征在于，

所述电子设备具有权利要求1所述的MEMS器件。

11.一种移动体，其特征在于，

所述移动体具有权利要求1所述的MEMS器件。