[发明专利]针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法及装置有效
| 申请号： | 201510004040.8 | 申请日： | 2015-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN105826154B | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 成晓阳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法及装置。该阻抗匹配方法包括，包括下列步骤粗调步骤根据当前负载阻抗进行调节，使当前反射系数|Γ|不大于起辉反射系数|Γt|，并设置当前位置为起辉位置；微调步骤保持起辉位置不变，根据当前负载阻抗实时调节实现阻抗匹配，并设置当前位置为匹配位置；切换步骤在后续的同一脉冲周期的不同脉冲时段，在起辉位置和匹配位置进行切换，以实现不同脉冲周期下的阻抗匹配。该阻抗匹配方法可以提高脉冲射频电源的匹配速率，从而可以提高工艺的稳定性和脉冲射频电源的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 脉冲 射频 电源 阻抗匹配 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法，其特征在于，所述阻抗匹配方法，包括下列步骤：粗调步骤：根据当前负载阻抗进行调节，使当前反射系数|Γ|不大于起辉反射系数|Γt|，并设置当前位置为起辉位置；微调步骤：保持所述起辉位置不变，根据当前负载阻抗实时调节实现阻抗匹配，并设置当前位置为匹配位置；切换步骤：在后续的同一脉冲周期的不同脉冲时段，在所述起辉位置和匹配位置进行切换，以实现不同脉冲周期下的阻抗匹配。
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