[发明专利]针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法及装置

权利要求书

1.一种针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法，其特征在于，所述阻抗匹配方法，包括下列步骤：

粗调步骤：根据当前负载阻抗进行调节，使当前反射系数|Γ|不大于起辉反射系数|Γ_t|，并设置当前位置为起辉位置；

微调步骤：保持所述起辉位置不变，根据当前负载阻抗实时调节实现阻抗匹配，并设置当前位置为匹配位置；

切换步骤：在后续的同一脉冲周期的不同脉冲时段，在所述起辉位置和匹配位置进行切换，以实现不同脉冲周期下的阻抗匹配。

2.根据权利要求1所述的针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法，其特征在于，所述粗调步骤，包括下列步骤：

步骤1，实时判断当前反射系数|Γ|是否不大于起辉反射系数|Γ_t|，若是，执行步骤2；否则，执行所述微调步骤；

步骤2，根据当前负载阻抗实时执行所述粗调步骤；返回步骤1。

3.根据权利要求1所述的针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法，其特征在于，所述粗调步骤之前，还包括：

判断当前是否为脉冲周期的高电平时段，若是，执行所述粗调步骤；否则，当前为脉冲周期的低电平时段，保持当前位置不变。

4.根据权利要求3所述的针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法，其特征在于，在判断当前为当前脉冲周期的高电平时段时，所述脉冲射频电源采用扫频模式进行自动阻抗匹配。

5.根据权利要求1所述的针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法，其特征在于，所述微调步骤中，还包括：

在实现阻抗匹配时，保存所述匹配位置。

6.根据权利要求1所述的针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法，其特征在于，所述切换步骤，包括：

在后续的同一脉冲周期的高电平时段时，自起辉位置切换至匹配位置，以及在后续的同一脉冲周期的低电平时段时，自匹配位置切换至起辉位置。

7.一种针对脉冲射频电源的阻抗匹配装置，用于实现脉冲射频电源的负载阻抗和特征阻抗相匹配，其特征在于，所述装置，包括：粗调单元、微调单元以及切换单元，其中：

所述粗调单元，用于根据当前负载阻抗调节当前反射系数|Γ|不大于起辉反射系数|Γ_t|，并设置当前位置为起辉位置；

所述微调单元，用于在当前反射系数|Γ|不大于起辉反射系数|Γ_t|时，保持所述起辉位置不变，根据当前负载阻抗实时调节实现阻抗匹配，并设置当前位置为匹配位置；

所述切换单元，用于在首次实现阻抗匹配后续的同一脉冲周期的不同脉冲时段，在所述起辉位置和匹配位置进行切换，以实现不同脉冲周期下的阻抗匹配。

8.根据权利要求7所述的针对脉冲射频电源的阻抗匹配装置，其特征在于，所述装置，还包括：控制模块、判断模块和计算模块，其中：

所述计算模块，用于在实时计算出所述脉冲射频电源的当前负载阻抗和当前反射系数|Γ|，并将当前负载阻抗发送至所述粗调单元和所述微调单元，以及将当前反射系数|Γ|发送至所述判断模块；

所述判断模块，用于判断当前反射系数|Γ|是否不大于起辉反射系数|Γ_t|，若是，向所述控制模块发送第一标识信号；否则，向所述控制模块发送第二标识信号；

所述控制模块，用于在接收到由所述判断模块发送而来的所述第一标识信号时，触发所述粗调单元；以及在接收到由所述判断模块发送而来的所述第二标识信号时，触发所述微调单元。

9.根据权利要求8所述的针对脉冲射频电源的阻抗匹配装置，其特征在于，所述粗调单元包括可调电容和/或可调电感，其中：

所述粗调单元，根据由所述计算模块发送而来的当前负载阻抗实时调节所述可调电容和/或可调电感的位置，以调节当前反射系数|Γ|不大于起辉反射系数|Γ_t|，并设置当前可调电容和/或可调电感的位置为起辉位置。

10.根据权利要求8所述的针对脉冲射频电源的阻抗匹配装置，其特征在于，所述微调单元，包括固定电容和/或固定电感以及与其串接的通断开关，其中：

所述微调单元根据由计算模块发送而来的当前负载阻抗实时控制所述通断开关接通或断开实现阻抗匹配，并设置当前所述通断开关的状态为匹配通断状态。