[发明专利]具有选定的导热性的硬质材料层有效

专利信息
申请号: 201480019896.6 申请日: 2014-03-26
公开(公告)号: CN105209656B 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 马蒂亚斯·卢卡斯·索比希;塞巴斯蒂安·施泰因;保罗·海因里希·米夏埃尔·伯特格尔;瓦勒里·施克罗尔;耶格·帕切德 申请(专利权)人: 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔;苏黎世联邦理工学院;瑞士联邦材料科学与技术研究所
主分类号: C23C14/00 分类号: C23C14/00;C23C14/06;C23C28/00;C23C14/34
代理公司: 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司11129 代理人: 张涛
地址: 瑞士普费*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种硬质材料层体系,其具有多层的层结构,该硬质材料层体系包含交替的层A和层B,其中,层A具有按照原子百分比的组成MeApAOnANmA,而层B具有按照原子百分比的组成MeBpBOnBNmB,其中,该层A的导热性大于该层B的导热性;b.MeA和MeB分别包含Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W和Al组中的至少一种金属;pA表示MeA的原子百分比,pB表示MeB的原子百分比,并且以下条件成立pA=pB;nA表示层A中的按照原子百分比的氧浓度,nB表示层B中的按照原子百分比的氧浓度,并且以下条件成立nA<nB,并且mA表示层A中的按照原子百分比的氮浓度,mB表示在层B中的按照原子百分比的氮浓度,并且以下条件成立pA/(nA+mA)=pB/(nB+mB)。
搜索关键词: 具有 选定 导热性 硬质 材料
【主权项】:
一种硬质材料层体系,其沉积在基材表面上并具有多层的层结构,该硬质材料层体系包含交替的层A和层B,其中,层A具有按照原子百分比的组成MeApAOnANmA,而层B具有按照原子百分比的组成MeBpBOnBNmB,其中,a.该层A的导热性大于该层B的导热性,b.MeA和MeB分别包含Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W和Al组中的至少一种金属,c.pA表示MeA的原子百分比,pB表示MeB的原子百分比,并且以下条件成立:pA=pB,d.nA表示层A中的按照原子百分比的氧浓度,nB表示层B中的按照原子百分比的氧浓度,并且以下条件成立:nA<nB,并且e.mA表示层A中的按照原子百分比的氮浓度,mB表示在层B中的按照原子百分比的氮浓度,并且以下条件成立:pA/(nA+mA)=pB/(nB+mB),其中,5%≤nB≤30%,并且遵从:pA+nA+mA=pB+nB+mB=100%,其中,至少一个层A或一个层B沿至少一部分层厚具有分梯度的氧浓度,或者该硬质材料层体系包括至少另一个MepOnNm类型的硬质材料层,其中,n≥0,Me=MeA并且p=pA或者Me=MeB并且p=pB,该硬质材料层沿至少一部分层厚具有分梯度的氧浓度。
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  • 一种新型气相沉积设备-201820934091.X
  • 叶侃 - 海安绒克纺织有限公司
  • 2018-06-15 - 2019-02-26 - C23C14/00
  • 本实用新型公开了一种新型气相沉积设备,其包括底座、操作台、沉积箱、沉积箱导管等,底座位于操作台的下面,操作台位于沉积箱的下面,沉积箱的一端与操作台相连,沉积箱导管位于沉积箱的左侧,沉积箱保护盖的位于出液口的下面,工作状态指示灯的一端与操作台相连,出液口的一端与沉积箱保护盖相连,后置保护盖位于沉积箱的右侧,控制电箱位于工作状态指示灯的右侧,操作按钮位于工作状态指示灯的下面,把手位于参数显示表的下面,安装槽位于伺服电机的右侧,移动安装板位于伺服电机的下面,参数显示表位于安装槽的左侧。本实用新型操作简单、设计合理,简化了安装过程,加强了整体的结构,延长了使用寿命,降低了维修成本。
  • 一种具有软硬相间类金刚石涂层的活塞环及制备方法-201811120153.4
  • 王星;程伟胜;严满生;张凯峰;章昱;金鹏 - 安庆帝伯格茨活塞环有限公司
  • 2018-09-25 - 2019-02-19 - C23C14/00
  • 本发明提供一种具有软硬相间类金刚石涂层的活塞环及制备方法,包括活塞环基体,所述活塞环基体外圆面设置有氮化钛层,所述氮化钛层外圆面由内至外设置有一组或多组的类金刚石复合涂层,该类金刚石复合涂层包括由内至外设置的软类金刚石涂层和硬类金刚石涂层,利用氮化钛作为类金刚石复合涂层与活塞环基体之间的过渡结构,可以有效的提高类金刚石复合涂层与活塞环基体的结合强度,并且类金刚石复合涂层采用软硬相间的结构,可以降低类金刚石复合涂层的内应力,进而增加后期的使用寿命,同时具有软硬相间类金刚石涂层的活塞环生产工艺简单,可以根据实际需要进行厚度改变,增加活塞环的实用性。
  • 一种真空镀膜设备的门体结构-201310226359.6
  • 董小虹;张中弦;梁航;黄拿灿 - 广东世创金属科技股份有限公司
  • 2013-06-07 - 2019-02-05 - C23C14/00
  • 本发明涉及一种镀膜设备的门体结构,其特征在于:包括真空室门体和真空室门盖,真空室门体与真空室腔体密封连接构成密封式具有筒状结构的真空室;在真空室腔体外表面设有真空室腔体盖,通过真空室门盖和真空室腔体盖将真空室整体围合,形成真空室围蔽结构;在真空窒门体的立面上设有一个或多个观察窗,在观察窗上面安装有摄像装置;在真空室门盖的立面上,安装有显示屏,供视频监控和工艺监控使用。本发明使用整体外盖围蔽结构,相当于形成双层门体结构,使真空室腔体和真空室门体的立面方便布置及隐藏管线,整体外观整齐、简洁,通过观察窗,进行实时监控和记录真空室内部的工作状况,实现自动监控的目的,并具有通用性好,使用率高、使用方便和成本较低的显著有益效果。
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