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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]使用基于气体团簇离子束技术的中性射束处理的超浅蚀刻方法以及由此产生的物品-CN202210483368.2在审
发明人： 肖恩·R·柯克帕特里克;理查德·C·什夫卢加 -专利权人：艾克索乔纳斯公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种用于浅蚀刻基板表面的方法，使用加速中性射束形成覆盖未改性的基板的浅改性基板层，并蚀刻改性层，在下方未改性的基板处停止以产生受控浅蚀刻基板表面。
使用基于气体离子束技术中性处理蚀刻方法以及由此产生物品

[发明专利]基于气体团簇离子束技术的中性射束处理方法以及由此产生的物品-CN201680000895.6有效
发明人： 肖恩·R·柯克帕特里克;理查德·C·什夫卢加 -专利权人：艾克索乔纳斯公司
申请日： 2016-03-11 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：一种使用具有碳原子的加速中性射束形成位于基板表面上的带图案的硬掩膜的方法。本发明的前述目的以及进一步的和其他的目的和优势通过下述本发明的各个实施例实现。
基于气体离子束技术中性处理方法以及由此产生物品

[发明专利]使用基于气体团簇离子束技术的中性射束处理的超浅蚀刻方法以及由此产生的物品-CN201680012562.5在审
发明人： 肖恩·R·柯克帕特里克;理查德·C·什夫卢加 -专利权人：艾克索乔纳斯公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：一种用于浅蚀刻基板表面的方法，使用加速中性射束形成覆盖未改性的基板的浅改性基板层，并蚀刻改性层，在下方未改性的基板处停止以产生受控浅蚀刻基板表面。
使用基于气体离子束技术中性处理蚀刻方法以及由此产生物品

[发明专利]改善表面生物活性特征的方法及具有由此改善的表面的物体-CN201080011642.1有效
发明人：约瑟夫·库利;劳伦斯·B·泰伦特;肖恩·R·柯克帕特里克;理查德·C·什夫卢加 -专利权人：艾克索乔纳斯公司
申请日： 2010-03-11 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： A61L27/50 文献下载
摘要：本发明提供改善植入物表面生物活性的方法。本发明还提供改善生物实验室用品表面生物活性的方法。本发明还提供在物体上附着细胞的方法。本发明还提供为医疗移植制备物体的方法。本发明还提供具有附着的细胞的用品，以及用于医疗移植的用品。
改善表面生物活性特征方法具有由此物体

[发明专利]基于气体团簇离子束技术的中性射束处理方法和设备-CN201180051189.1有效
发明人： 肖恩·R·柯克帕特里克;艾伦·R·柯克帕特里克 -专利权人：艾克索乔纳斯公司
申请日： 2011-08-23 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： B01D59/00 文献下载
摘要：提供用于处理材料的来自加速气体团簇离子束的加速中性射束的设备、方法和产品。
基于气体离子束技术中性处理方法设备

[发明专利]使用气体团簇离子束技术改变生物材料表面湿润性和/或其他生物相容性特征的方法以及由此制备的生物材料-CN201080011644.0有效
发明人：约瑟夫·库利;劳伦斯·B·泰伦特;肖恩·R·柯克帕特里克;理查德·C·什夫卢加 -专利权人：艾克索乔纳斯公司
申请日： 2010-03-11 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： A61K9/00 文献下载
摘要：本发明提供了用于制备移植用生物材料的方法。本发明还提供了用于外科植入的生物材料。本发明还提供了用于外科植入的生物复合物。
使用气体离子束技术改变生物材料表面湿润其他相容性特征方法以及由此制备

[发明专利]减少缺陷的基板处理方法-CN201480023532.5在审
发明人： 肖恩·R·柯克帕特里克 -专利权人：艾克索乔纳斯公司
申请日： 2014-02-25 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： H01L21/30 文献下载
摘要：一种用于处理基板表面的方法使用源自气体团簇离子束的中性射束辐照以及由此产生的包括光刻光掩膜基板的制品。一个实施例提供了处理包含一个或多个嵌入粒子或包含亚表面损伤的基板的表面的方法，该方法包含以下步骤：提供减压室；在减压室中形成包含气体团簇离子的气体团簇离子束；在减压室中加速气体团簇离子以形成沿射束路径的加速的气体团簇离子束；促使沿射束路径的至少一部分加速的气体团簇离子分裂和/或离解；在减压室中从射束路径中去除带电粒子以形成沿射束路径的加速的中性射束；将表面保持在射束路径中；以及通过辐照处理基板的至少一部分表面。
减少缺陷处理方法

[发明专利]使用气体团簇离子束技术改变生物材料表面湿润性和/或其他生物相容性特征的方法以及由此制备的生物材料-CN201080011665.2无效
发明人：约瑟夫·库利;劳伦斯·B·泰伦特;肖恩·R·柯克帕特里克;理查德·C·什夫卢加 -专利权人：艾克索乔纳斯公司
申请日： 2010-03-11 - 公布日： 2012-02-08 - 主分类号： C12N5/07 文献下载
摘要：本发明提供了用于手术移植组织的方法。该方法包含体外培养来自供体的移植组织，用离子束照射移植组织的至少第一部分，以及将移植组织手术植入受体的步骤。
使用气体离子束技术改变生物材料表面湿润其他相容性特征方法以及由此制备

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