[发明专利]单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法在审
申请号: | 201480001704.9 | 申请日: | 2014-03-25 |
公开(公告)号: | CN104395509A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 山形茂 | 申请(专利权)人: | 信越石英株式会社 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C03B20/00;C30B15/10 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 张永康;李英艳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明是一种单晶硅提拉用二氧化硅容器,具有直筒部、弯曲部及底部,其容器外侧是由含有气泡的不透明二氧化硅玻璃所构成,容器内侧是由透明二氧化硅玻璃所构成,于至少前述直筒部的内侧表层部分,具有混合二氧化硅层,该混合二氧化硅层中,结晶质二氧化硅粉熔融相与非晶质二氧化硅粉熔融相呈粒状地夹杂。由此,提供一种单晶硅提拉用二氧化硅容器,其可抑制高温下的二氧化硅容器中的硅熔液的液面振动。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 提拉用 二氧化硅 容器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种单晶硅提拉用二氧化硅容器的制造方法,所述单晶硅提拉用二氧化硅容器具有直筒部、弯曲部及底部,所述制造方法的特征在于,包含下述工序:制造粒径为10~1000μm的结晶质二氧化硅粉,来作为第一原料粉;制造粒径为50~2000μm的结晶质二氧化硅粉与粒径为50~2000μm的非晶质二氧化硅粉的混合粉,来作为第二原料粉;将前述第一原料粉投入至具有旋转对称性的模框的内侧,一边使该模框旋转一边暂时成型为按照该模框的内壁的特定形状,而于该模框内形成由第一原料粉所构成的第一暂时成型体;将前述第二原料粉投入至已形成于前述模框内的第一暂时成型体的内侧和上部的至少任意一者,并将具有由前述第一原料粉所构成的部分和由前述第二原料粉所构成的部分的第二暂时成型体,使其形状成为按照要制造的二氧化硅容器的形状,而且,在相当于该要制造的二氧化硅容器的至少直筒部的内侧表层部分的位置,形成为具有由前述第二原料粉所构成的部分;一边使前述模框旋转,一边自前述第二暂时成型体的内侧根据放电加热熔融法进行加热,由此将前述第二暂时成型体中的由前述第二原料粉所构成的部分,作成结晶质二氧化硅粉熔融相与非晶质二氧化硅粉熔融相呈粒状地夹杂的混合二氧化硅层,并且,作成容器外侧是由含有气泡的不透明二氧化硅玻璃所构成,容器内侧是由透明二氧化硅玻璃所构成。
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