[实用新型]一种MEMS传感器和MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201420741131.0 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN204316746U | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦;邱冠勋;周宗燐;宋青林 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;吴昊 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风、MEMS电容传感器。本实用新型提供的一种MEMS电容传感器，包括：基底、背极板、振膜、绝缘层和支撑层；所述振膜的外边缘上设有至少一个缺口，所述背极板上设有开槽，所述开槽与所述振膜的缺口处对应设置；所述背极板、振膜、支持层、绝缘层和基底相互配合，在每个缺口处的所述振膜下方形成用于泄气的泄气通道。本实用新型提供的技术方案能解决现有的MEMS振膜在突然受到大的气压冲击时如吹气，容易造成破损的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传感器 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS电容传感器，包括：基底、背极板、振膜、绝缘层和支撑层；其特征在于，所述振膜的外边缘上设有至少一个缺口，所述背极板上设有开槽，所述开槽对应所述振膜的缺口处设置；所述背极板、振膜、支持层、绝缘层和基底相互配合，在每个缺口处的所述振膜下方形成用于泄气的泄气通道。
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