[实用新型]一种蓝宝石晶体生长装置有效
申请号: | 201420706060.0 | 申请日: | 2014-11-24 |
公开(公告)号: | CN204251771U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 孙占喜;李吾臣;李莉;蔺崇召 | 申请(专利权)人: | 河南晶格光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 452670 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,真空室的左侧下部设置有抽真空口,真空室右侧上部设置有测温孔,真空室内部设置有加热器,加热器的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏,加热器内放置有坩埚,坩埚内装有多晶原料,多晶原料内放置有蓝宝石晶体,蓝宝石晶体上放置有籽晶,籽晶连接有提拉杆,坩埚下方设置有旋转平台,旋转平台底部安装有丝杆,丝杆上套装有与丝杆相配合的轴,轴连接有旋转电机,真空室外设置有计时器,计时器连接有控制电机正转和反转的控制器,本实用新型设计简单,电机的控制实现了坩埚的旋转和上下移动,同时提拉杆对籽晶进行提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,使晶体的生长好,质量也高。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,其特征在于:所述的真空室的左侧下部设置有抽真空口,真空室右侧上部设置有测温孔,所述的真空室内部设置有加热器,所述的加热器的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏,所述的加热器内放置有坩埚,所述的坩埚内装有多晶原料,所述的多晶原料内放置有蓝宝石晶体,所述的蓝宝石晶体上放置有籽晶,所述的籽晶连接有提拉杆,所述的坩埚下方设置有旋转平台,所述的旋转平台底部安装有丝杆,所述的丝杆上套装有与丝杆相配合的设置有内螺纹的轴,所述的轴连接有旋转电机,所述的真空室外设置有计时器,所述的计时器连接有控制电机正转和反转的控制器。
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