[实用新型]一种蓝宝石晶体生长装置有效

专利信息
申请号: 201420706060.0 申请日: 2014-11-24
公开(公告)号: CN204251771U 公开(公告)日: 2015-04-08
发明(设计)人: 孙占喜;李吾臣;李莉;蔺崇召 申请(专利权)人: 河南晶格光电科技有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B15/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 452670 *** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 晶体生长 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于晶体技术领域,具体涉及生长装置,特别涉及一种蓝宝石晶体生长装置。

背景技术

在蓝宝石晶体生长技术中,一般在保持坩埚静止不动,采用晶体提拉和旋转运动的方法来控制完成晶体的生长,但是在现有技术条件下,由于加热系统和保温系统因为制作精度、安装位置不能完全满足技术要求等因素,因此,整体而言,不能很好的保证拉晶过程中温度场的均匀、对称,从而影响晶体的稳定生长。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种设计简单、操作简便、生长环境好、生长质量高的蓝宝石晶体生长装置。

本实用新型的目的是这样实现的:一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,所述的真空室的左侧下部设置有抽真空口,真空室右侧上部设置有测温孔,所述的真空室内部设置有加热器,所述的加热器的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏,所述的加热器内放置有坩埚,所述的坩埚内装有多晶原料,所述的多晶原料内放置有蓝宝石晶体,所述的蓝宝石晶体上放置有籽晶,所述的籽晶连接有提拉杆,所述的坩埚下方设置有旋转平台,所述的旋转平台底部安装有丝杆,所述的丝杆上套装有与丝杆相配合的设置有内螺纹的轴,所述的轴连接有旋转电机,所述的真空室外设置有计时器,所述的计时器连接有控制电机正转和反转的控制器。

所述的真空室内设置有观察窗。

所述的计时器的计时时间为一分钟。

所述的丝杆和旋转平台为一体结构。

所述的旋转平台的两端均设置有挡板。

所述的计时器连接有外接电源接口。

本实用新型的有益效果:本实用新型设计简单,整个生长装置均处于真空的状态,设置有抽真空口,为工作人员提供方便,设置有加热器,将坩埚内多晶原料加热融化,加热器的底部以及左右两侧均可以加热,不仅保证了加热的均匀性,更保证了加热的对称性,设置有保温屏,更好的利用热量,坩埚底部设置有旋转平台,真空室外设置有计时器,通过计时器控制控制器,从而控制电机的正转或反转,由于设置有丝杆,这样不仅保证了坩埚的旋转还实现了坩埚的上下移动,同时提拉杆对籽晶进行上下提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,有利于蓝宝石晶体的完美生长,不仅晶体的生长好,质量也高,另外旋转平台两端设置有挡板,保证了坩埚的稳定性,为蓝宝石的生长提供稳定的环境,设置有测温孔,方便工作人员控制温度,总之本实用新型具有设计简单、受热均匀、生长环境好,生长质量高的优点。

附图说明

图1是本实用新型一种蓝宝石晶体生长装置的结构示意图。

图中:1、真空室  2、抽真空口  3、测温孔  4、加热器   5、保温屏   6、坩埚  7、多晶原料  8、蓝宝石晶体  9、籽晶  10、提拉杆  11、旋转平台  12、丝杆  13、轴  14、旋转电机  15、计时器  16、控制器  。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

实施例1

如图1所示,一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室1,所述的真空室1的左侧下部设置有抽真空口2,真空室1右侧上部设置有测温孔3,所述的真空室1内部设置有加热器4,所述的加热器4的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏5,所述的加热器4内放置有坩埚6,所述的坩埚6内装有多晶原料7,所述的多晶原料7内放置有蓝宝石晶体8,所述的蓝宝石晶体8上放置有籽晶9,所述的籽晶9连接有提拉杆10,所述的坩埚下6方设置有旋转平台11,所述的旋转平台11底部安装有丝杆12,所述的丝杆12上套装有与丝杆12相配合的设置有内螺纹的轴13,所述的轴13连接有旋转电机14,所述的真空室1外设置有计时器15,所述的计时器15连接有控制电机14正转和反转的控制器16。

本实用新型设计简单,整个生长装置均处于真空的状态,设置有抽真空口,为工作人员提供方便,设置有加热器,将坩埚内多晶原料加热融化,加热器的底部以及左右两侧均可以加热,不仅保证了加热的均匀性,更保证了加热的对称性,设置有保温屏,更好的利用热量,坩埚底部设置有旋转平台,真空室外设置有计时器,通过计时器控制控制器,从而控制电机的正转或反转,由于设置有丝杆,这样不仅保证了坩埚的旋转还实现了坩埚的上下移动,同时提拉杆对籽晶进行上下提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,有利于蓝宝石晶体的完美生长,不仅晶体的生长好,质量也高,设置有测温孔,方便工作人员控制温度,总之本实用新型具有设计简单、受热均匀、生长环境好,生长质量高的优点。

实施例2

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