[实用新型]一种蓝宝石晶体生长装置有效
申请号: | 201420706060.0 | 申请日: | 2014-11-24 |
公开(公告)号: | CN204251771U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 孙占喜;李吾臣;李莉;蔺崇召 | 申请(专利权)人: | 河南晶格光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00 |
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地址: | 452670 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 装置 | ||
技术领域
本实用新型属于晶体技术领域,具体涉及生长装置,特别涉及一种蓝宝石晶体生长装置。
背景技术
在蓝宝石晶体生长技术中,一般在保持坩埚静止不动,采用晶体提拉和旋转运动的方法来控制完成晶体的生长,但是在现有技术条件下,由于加热系统和保温系统因为制作精度、安装位置不能完全满足技术要求等因素,因此,整体而言,不能很好的保证拉晶过程中温度场的均匀、对称,从而影响晶体的稳定生长。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种设计简单、操作简便、生长环境好、生长质量高的蓝宝石晶体生长装置。
本实用新型的目的是这样实现的:一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,所述的真空室的左侧下部设置有抽真空口,真空室右侧上部设置有测温孔,所述的真空室内部设置有加热器,所述的加热器的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏,所述的加热器内放置有坩埚,所述的坩埚内装有多晶原料,所述的多晶原料内放置有蓝宝石晶体,所述的蓝宝石晶体上放置有籽晶,所述的籽晶连接有提拉杆,所述的坩埚下方设置有旋转平台,所述的旋转平台底部安装有丝杆,所述的丝杆上套装有与丝杆相配合的设置有内螺纹的轴,所述的轴连接有旋转电机,所述的真空室外设置有计时器,所述的计时器连接有控制电机正转和反转的控制器。
所述的真空室内设置有观察窗。
所述的计时器的计时时间为一分钟。
所述的丝杆和旋转平台为一体结构。
所述的旋转平台的两端均设置有挡板。
所述的计时器连接有外接电源接口。
本实用新型的有益效果:本实用新型设计简单,整个生长装置均处于真空的状态,设置有抽真空口,为工作人员提供方便,设置有加热器,将坩埚内多晶原料加热融化,加热器的底部以及左右两侧均可以加热,不仅保证了加热的均匀性,更保证了加热的对称性,设置有保温屏,更好的利用热量,坩埚底部设置有旋转平台,真空室外设置有计时器,通过计时器控制控制器,从而控制电机的正转或反转,由于设置有丝杆,这样不仅保证了坩埚的旋转还实现了坩埚的上下移动,同时提拉杆对籽晶进行上下提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,有利于蓝宝石晶体的完美生长,不仅晶体的生长好,质量也高,另外旋转平台两端设置有挡板,保证了坩埚的稳定性,为蓝宝石的生长提供稳定的环境,设置有测温孔,方便工作人员控制温度,总之本实用新型具有设计简单、受热均匀、生长环境好,生长质量高的优点。
附图说明
图1是本实用新型一种蓝宝石晶体生长装置的结构示意图。
图中:1、真空室 2、抽真空口 3、测温孔 4、加热器 5、保温屏 6、坩埚 7、多晶原料 8、蓝宝石晶体 9、籽晶 10、提拉杆 11、旋转平台 12、丝杆 13、轴 14、旋转电机 15、计时器 16、控制器 。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
实施例1
如图1所示,一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室1,所述的真空室1的左侧下部设置有抽真空口2,真空室1右侧上部设置有测温孔3,所述的真空室1内部设置有加热器4,所述的加热器4的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏5,所述的加热器4内放置有坩埚6,所述的坩埚6内装有多晶原料7,所述的多晶原料7内放置有蓝宝石晶体8,所述的蓝宝石晶体8上放置有籽晶9,所述的籽晶9连接有提拉杆10,所述的坩埚下6方设置有旋转平台11,所述的旋转平台11底部安装有丝杆12,所述的丝杆12上套装有与丝杆12相配合的设置有内螺纹的轴13,所述的轴13连接有旋转电机14,所述的真空室1外设置有计时器15,所述的计时器15连接有控制电机14正转和反转的控制器16。
本实用新型设计简单,整个生长装置均处于真空的状态,设置有抽真空口,为工作人员提供方便,设置有加热器,将坩埚内多晶原料加热融化,加热器的底部以及左右两侧均可以加热,不仅保证了加热的均匀性,更保证了加热的对称性,设置有保温屏,更好的利用热量,坩埚底部设置有旋转平台,真空室外设置有计时器,通过计时器控制控制器,从而控制电机的正转或反转,由于设置有丝杆,这样不仅保证了坩埚的旋转还实现了坩埚的上下移动,同时提拉杆对籽晶进行上下提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,有利于蓝宝石晶体的完美生长,不仅晶体的生长好,质量也高,设置有测温孔,方便工作人员控制温度,总之本实用新型具有设计简单、受热均匀、生长环境好,生长质量高的优点。
实施例2
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