[发明专利]等离子体处理装置的阻抗匹配方法

摘要

一种等离子体处理装置的阻抗匹配方法，包括提供阻抗匹配装置连接在等离子处理装置和可变频功率源之间，阻抗匹配装置包括可变频功率源第一可变电容、第二可变频率和电感；获取等离子处理装置的谐振频率范围；进行频率调节模式，频率调节模式中包括多个频率调节步骤获得下一步骤中可变频功率源的输出频率；如下一步骤的输出频率不在谐振频率范围内，则循环执行频率调节步骤直至阻抗匹配；如下一步骤的输出频率进入谐振频率范围，停止频率调节模式，进入电容调节步骤根据检测到的当前等离子处理装置的反射功率信号调节第一可变电容。等离子体处理装置的阻抗匹配方法能够使等离子体的状态稳定、等离子体处理的质量提高、状态稳定。

主权项

一种等离子体处理装置的阻抗匹配方法，其特征在于，包括：提供阻抗匹配装置连接在等离子处理装置和可变频功率源之间，所述阻抗匹配装置包括可变频功率源、第一可变电容、第二可变电容和电感，所述可变频功率源用于向所述等离子处理装置提供在第一输出频率到第二输出频率范围内可变的射频功率输出，所述第一可变电容与所述可变频功率源串联，所述第二可变电容与所述可变频功率源并联，所述电感与所述可变频功率源和第一可变电容串联；获取所述等离子处理装置的谐振频率范围，所述谐振频率范围与所述可变频功率源的输出频率范围至少部分重叠；进行频率调节模式，所述频率调节模式中包括多个频率调节步骤，所述频率调节步骤包括：根据检测到的当前等离子处理装置的反射功率信号，获得下一步骤中所述可变频功率源的输出频率；如果所获得的下一步骤中的输出频率不在所述谐振频率范围内，则循环执行所述频率调节步骤，使可变频功率源输入到等离子处理装置的反射功率变小直到最小化；如果所获得的下一步骤中的输出频率进入所述谐振频率范围内，停止频率调节模式，进入电容调节模式，所述电容调节模式包括至少一个电容调节步骤，所述电容调节步骤包括：根据检测到的当前等离子处理装置的反射功率信号调节第一可变电容，以减小等离子处理装置的反射功率。