[发明专利]化学气相沉积设备在审
| 申请号： | 201410851813.1 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104513972A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 李金明 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学气相沉积设备，包括：反应腔体(100)、设于所述反应腔体(100)内的加热平台(200)、设于所述加热平台(200)下方的加热平台支撑座(301)、设于所述加热平台支撑座(301)下方的加热平台支撑杆(302)；通过在加热平台(200)及加热平台支撑板(300)上分别设置对应的螺纹孔，通过该螺纹孔用中空的内六角螺栓(400)将加热平台(200)及加热平台支撑板(300)固定在一起，通过卡套结构(500)将加热线(700)、及热电偶(800)连接至加热平台(200)。该化学气相沉积设备的加热平台可单独拆卸，便于化学气相沉积设备维护及清洗整形。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括：反应腔体(100)、设于所述反应腔体(100)内的加热平台(200)、设于所述加热平台(200)下方的加热平台支撑座(301)、设于所述加热平台支撑座(301)下方的加热平台支撑杆(302)；所述加热平台(200)与加热平台支撑座(301)分别对应设有至少2个螺纹孔，通过中空内六角螺栓(400)将加热平台(200)固定于加热平台支撑座(301)上；所述加热平台(200)与加热平台支撑座(301)还对应设有至少2个卡套结构(500)，通过所述卡套结构(500)将加热线(700)、及热电偶(800)连接至加热平台(200)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
