[发明专利]蓝宝石衬底及制备方法、制造发光二极管的方法在审
申请号: | 201410850307.0 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104465909A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 焦建军;黄小辉;周德保;康建;梁旭东 | 申请(专利权)人: | 圆融光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;黄健 |
地址: | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种蓝宝石衬底及制备方法、制造发光二极管的方法。本发明蓝宝石衬底,包括:至少一切割道与衬底;所述至少一切割道设置在所述衬底上、且所述至少一切割道的晶面指向不同于所述衬底的晶面指向,以利用所述切割道将所述衬底分割成具有规则形状的图形;所述衬底的晶面指向为C晶面指向。本发明的蓝宝石衬底在进行GaN外延片生长后切割道就将芯粒与芯粒之间区分开,无需在后续的工作中利用激光切割技术将芯粒与芯粒区分开,直接利用劈裂机沿着切割道劈裂即可将芯粒分开,避免了由于激光切割不良导致发光二极管出现多胞、芯粒划偏、漏电、亮度低等问题,提高了发光二极管的产品质量,同时也可以提高芯片的产能以及节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 衬底 制备 方法 制造 发光二极管 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石衬底,其特征在于,包括:至少一切割道与衬底;所述至少一切割道设置在所述衬底上、且所述至少一切割道的晶面指向不同于所述衬底的晶面指向,以利用所述切割道将所述衬底分割成具有规则形状的图形;所述衬底的晶面指向为C晶面指向。
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