[发明专利]蓝宝石衬底及制备方法、制造发光二极管的方法在审

专利信息
申请号: 201410850307.0 申请日: 2014-12-30
公开(公告)号: CN104465909A 公开(公告)日: 2015-03-25
发明(设计)人: 焦建军;黄小辉;周德保;康建;梁旭东 申请(专利权)人: 圆融光电科技有限公司
主分类号: H01L33/02 分类号: H01L33/02;H01L33/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨贝贝;黄健
地址: 243000 安徽省马鞍山*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供一种蓝宝石衬底及制备方法、制造发光二极管的方法。本发明蓝宝石衬底,包括:至少一切割道与衬底;所述至少一切割道设置在所述衬底上、且所述至少一切割道的晶面指向不同于所述衬底的晶面指向,以利用所述切割道将所述衬底分割成具有规则形状的图形;所述衬底的晶面指向为C晶面指向。本发明的蓝宝石衬底在进行GaN外延片生长后切割道就将芯粒与芯粒之间区分开,无需在后续的工作中利用激光切割技术将芯粒与芯粒区分开,直接利用劈裂机沿着切割道劈裂即可将芯粒分开,避免了由于激光切割不良导致发光二极管出现多胞、芯粒划偏、漏电、亮度低等问题,提高了发光二极管的产品质量,同时也可以提高芯片的产能以及节约了成本。
搜索关键词: 蓝宝石 衬底 制备 方法 制造 发光二极管
【主权项】:
一种蓝宝石衬底,其特征在于,包括:至少一切割道与衬底;所述至少一切割道设置在所述衬底上、且所述至少一切割道的晶面指向不同于所述衬底的晶面指向,以利用所述切割道将所述衬底分割成具有规则形状的图形;所述衬底的晶面指向为C晶面指向。
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