[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示基板和显示装置有效
| 申请号： | 201410842510.3 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104465786B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 李正亮;姚琪;曹占锋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、显示基板和显示装置。该薄膜晶体管包括栅极、有源层和源漏极，所述栅极和/或所述源漏极之上设置有第一阻挡层。本发明提供的薄膜晶体管及其制造方法、显示基板和显示装置的技术方案中，栅极和/或源漏极之上设置有第一阻挡层，该第一阻挡层可阻挡栅极和/或源漏极中的金属向上扩散，避免了对显示装置中器件特性的影响，从而提高了显示装置中器件的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 薄膜晶体管 源漏极 显示基板 阻挡层 制造 器件特性 源层 阻挡 金属 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括栅极、有源层和源漏极，所述栅极和/或所述源漏极之上设置有第一阻挡层，所述第一阻挡层包括第一子缓冲层和第一子阻挡层，所述第一子缓冲层的材料为金属合金。
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