[发明专利]一种碳化硅晶须的合成工艺在审
| 申请号： | 201410747112.3 | 申请日： | 2014-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105887203A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 任海涛 | 申请（专利权）人： | 任海涛 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B29/62;C30B1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅晶须的合成工艺，包括稻草切碎酸洗、制备稻草炭和高温制备碳化硅晶须等步骤。利用稻草和硅粉可以得到以β型为主的SiCw，晶须以光滑、直晶为主，直径为20～100nm，晶须中含有孪晶等面缺陷。本发明可以提高废弃物稻草的利用率，避免稻草秸秆作为燃料燃烧而产生可吸入颗粒物等污染物的现状。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 合成 工艺 | ||
【主权项】：
一种碳化硅晶须的合成工艺，其特征在于，合成工艺包括以下步骤：S1：稻草切碎至1～2cm，用20％盐酸酸洗，清洗至中性在烘干炉中烘干；S2：将烘干的稻草在真空烧结炉中460℃碳化1～2h随炉冷却，得到稻草炭；S3：将稻草炭、硅粉和催化剂混合均匀装入石墨坩埚，置入真空烧结炉，通入氩气保护，升温至1350～1600℃，保温反应1～2h；所述催化剂为铁粉和NaF，所述催化剂的用量占稻草炭和硅粉质量之和的百分比为2～4％。
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