[发明专利]一种MEMS热式流量传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种MEMS热式流量传感器及其制造方法，其中MEMS热式流量传感器包括衬底、第一组热敏电阻体、加热电阻体、第二组热敏电阻体、环境温度测量电阻体、引出线、钝化保护层和电极焊盘部。MEMS热式流量传感器的制造方法选用具有绝缘作用、高热阻、抗振动的材料作为衬底，并在衬底上溅射金属层或半导体层，并在金属层或半导体层上通过刻蚀形成第一组热敏电阻体、加热电阻体、第二组热敏电阻体、环境温度测量电阻体、引出线，同时通过二氧化硅或聚酰亚胺形成钝化保护层，并在引出线末端电镀金或铝形成电极焊盘部。本发明简化了加工工艺，降低了制造成本，制作了备用热敏电阻体和钝化保护层，提高了传感器的可靠性。

主权项

一种MEMS热式流量传感器，其特征在于包括：衬底(2)、第一组热敏电阻体、加热电阻体(5)、第二组热敏电阻体、环境温度测量电阻体(8)、引出线、钝化保护层(10)和电极焊盘部；衬底(2)背面加工有一个空腔(3)，衬底(2)位于空腔(3)上方的部分形成薄膜层(4)；在薄膜层(4)上表面设置有加热电阻体(5)，第一组热敏电阻体和第二组热敏电阻体沿流体流动的方向对称地设置在加热电阻体(5)两侧；在衬底(2)的上表面，靠近薄膜层(4)的位置处设置有环境温度测量电阻体(8)，且环境温度测量电阻体(8)相较于加热电阻体(5)更靠近流体上游一侧；第一组热敏电阻体包括第一热敏电阻体(6a)和第二热敏电阻体(6b)，第二组热敏电阻体包括第三热敏电阻体(7a)和第四热敏电阻体(7b)，第一热敏电阻体(6a)的两端、第二热敏电阻体(6b)的两端、第三热敏电阻体(7a)的两端、第四热敏电阻体(7b)的两端以及加热电阻体(5)的两端均设置有引出线，环境温度测量电阻体(8)一端设置有引出线，另一端与加热电阻体(5)的一端相连；衬底(2)、第一组热敏电阻体、加热电阻体(5)、第二组热敏电阻体、环境温度测量电阻体(8)以及引出线的表面覆盖有钝化保护层(10)；所述各引出线末端均加工有电极焊盘部，所述电极焊盘部穿过钝化保护层(10)与外部电路相连接；所述衬底(2)的材料为玻璃、石英或陶瓷。