[发明专利]射频返回路径的阻抗的控制

摘要

本发明涉及射频返回路径的阻抗的控制。具体而言，一种用于控制射频(RF)返回路径的阻抗的系统包括匹配盒，该匹配盒进一步包括匹配电路。该系统进一步包括射频发生器，该射频发生器与匹配盒联接上以经由射频供应路径的第一部分供应射频供应信号到匹配盒。射频发生器联接到匹配盒以经由射频返回路径的第一部分接收射频返回信号。该系统还包括开关电路以及经由射频返回路径的第二部分与该开关电路联接上的等离子体反应器。等离子体反应器经由射频供应路径的第二部分联接到匹配电路。该系统包括联接到所述开关电路上的控制器，所述控制器被配置成基于调节配方控制所述开关电路以改变所述射频返回路径的阻抗。

主权项

一种用于控制射频(RF)返回路径的阻抗的系统，其包括：匹配盒，其包括匹配电路；射频发生器，其联接到所述匹配盒以经由射频供应路径的第一部分供应射频供应信号到所述匹配盒，所述射频发生器联接到所述匹配盒以经由所述射频返回路径的第一部分接收射频返回信号；开关电路；等离子体反应器，其具有第一电极，其中所述第一电极经由所述射频返回路径的第二部分联接到所述开关电路，其中所述等离子体反应器包括第二电极，其中所述第二电极经由所述射频供应路径的第二部分联接到所述匹配电路，其中所述射频返回路径的所述第二部分由联接到所述开关电路的射频通道限定，并且所述射频返回路径的所述第二部分和所述射频供应路径的所述第二部分由射频传输线限定；以及控制器，其联接到所述开关电路，所述控制器被配置成基于调节配方控制所述开关电路以改变所述射频返回路径的所述阻抗。