[发明专利]一种用于蓝宝石单晶生长的热场系统在审
| 申请号： | 201410428338.7 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104195640A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 李乔;沈叶江;周晓峰 | 申请（专利权）人： | 杭州铸泰科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B11/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 311202 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于蓝宝石单晶生长的热场系统，包括：内部设有坩埚放置区的炉体、以及围绕坩埚放置区由内至外依次布置的加热装置和保温层，位于坩埚放置区底部的至少一部分保温层为可升降保温层。所述炉体的底部穿设有用于放置坩埚的支撑柱，所述的可升降保温层套设在该支撑柱上。采用两组加热装置来控制晶体生长及退火过程，两组加热装置分别为侧加热装置和下加热装置，分别使用各自的独立电源实现独立控制。本发明用于蓝宝石单晶生长的热场系统，采用多加热装置的独立控制及配合，并结合底部升降保温层的运用，实现晶体生长退火在同一热场系统中完成，使热场系统结构简单、生产控制稳定精确，在降低生产成本的同时，生长出高品质蓝宝石单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蓝宝石 生长 系统 | ||
【主权项】：
一种用于蓝宝石单晶生长的热场系统，包括：内部设有坩埚放置区的炉体、以及围绕坩埚放置区由内至外依次布置的加热装置和保温层，其特征在于，位于坩埚放置区底部的至少一部分保温层为可升降保温层。
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