[发明专利]感光性树脂组合物,感光性元件,光致抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201410381593.0 申请日: 2006-05-22
公开(公告)号: CN104133342B 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 宫坂昌宏;熊木尚 申请(专利权)人: 日立化成株式会社
主分类号: G03F7/033 分类号: G03F7/033;G03F7/09;G03F7/00;H05K3/06
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司11243 代理人: 金鲜英,何杨
地址: 日本东京都千*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及感光性树脂组合物,感光性元件,光致抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物,其特征为,含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C1)下述通式(1)所表示的化合物,式(1)中,至少1个R表示碳数4~12的烷基,a、b及c的总和为1~6;a、b及c的总和为2~6时,同一分子中的复数的各个R相同或相异。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 元件 光致抗蚀 图形 形成 方法 印刷 电路板 制造
【主权项】:
一种光致抗蚀图形的形成方法,其特征为具备下述工序:在基板上形成含有感光性树脂组合物的感光层的感光层形成工序;通过直接绘图曝光法将所述感光层的规定部分曝光于光的曝光工序;以及使经曝光的所述感光层进行显影形成光致抗蚀图形的显影工序,所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C1)下述通式(1)所表示的化合物和(C2)2,4,5‑三芳基咪唑二聚物或其衍生物,相对于所述(A)成分与所述(B)成分的总量100质量份,所述(C1)成分的配合量为0.05~0.8质量份,所述(C2)成分的配合量为3~5质量份,式(1)中,至少1个R表示碳数4~12的烷基,a、b及c的总和为1~6;a、b及c的总和为2~6时,同一分子中的复数的各个R相同或相异。
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