[发明专利]一种基板及其制作方法、显示装置

摘要

本发明公开了一种基板及其制作方法、显示装置，用以解决在衬底的铝电极上形成绝缘层时绝缘层存在断层的问题。所述基板包括位于衬底上具有第一设定图形的铝电极，还包括与所述铝电极同层设置的具有第二设定图形的氧化铝层或氮化铝层；所述第一设定图形和所述第二设定图形互补。

主权项

一种基板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底上形成具有第一设定图形的铝电极的过程，以及同时在所述衬底上形成与所述铝电极同层设置的具有第二设定图形的氧化铝层或氮化铝层的过程；所述第一设定图形和所述第二设定图形互补；所述铝电极与所述氧化铝层或氮化铝层的高度差为大于0nm且小于等于700nm；形成所述铝电极和所述氧化铝层或氮化铝层的过程，具体为：在衬底上形成第一设定厚度的铝层；在所述铝层上待形成所述铝电极的区域形成保护层，露出所述保护层对应区域之外的铝层；将形成有所述保护层的衬底置于通有氧气或氮气的退火设备进行退火，所述露出的铝层形成所述氧化铝层或氮化铝层，保护层正下方的铝层形成所述铝电极。