[发明专利]基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法

摘要

本发明提供一种基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法，即使基板搬运机器人的臂较短，也能检测基板载置部上的基板的配置状态。在该基板搬运机器人（13）中，控制部（133）的结构为，在俯视时，在手部（131）相对于基板收装中心线（141）向基板搬运机器人的旋转中心（C1）侧倾斜的状态下，通过检测部（150）检测盒（30）内的基板（110）的配置状态。

主权项

一种基板搬运机器人，其特征在于，具有：手部，所述手部上设有用于检测基板载置部上的基板的配置状态的检测部；以及控制部，所述控制部的结构为，在俯视时，以所述基板载置部上的所述基板的基板收装中心为中心、或者以所述手部保持有所述基板时的基板保持中心为中心，使所述手部向所述基板搬运机器人的旋转中心侧转动，从而在手中心线相对于基板收装中心线以规定的倾角向所述基板搬运机器人的旋转中心侧倾斜的状态下，通过所述检测部检测所述基板载置部上的所述基板的配置状态，其中，所述手中心线是连接所述手部的转动中心与所述手部保持有所述基板时的所述基板保持中心的直线，所述基板收装中心线是连接所述基板载置部的所述基板收装中心与所述基板载置部载置有所述基板时的所述手部的转动中心的直线，所述基板收装中心线相对于所述基板载置部的前表面在垂直方向上。