[发明专利]基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法。

背景技术

以往，已知一种基板搬运装置（基板搬运机器人），在其所具有的手上设有透射型光传感器，用于检测基板收装盒内配置的基板的配置状态（例如，参照专利文献1）。在所述专利文献1中，基板搬运装置（基板搬运机器人）的搬运用臂的前端设有俯视时大致呈V字形状（在前端侧分叉的形状）的手。另外，在手的前端侧设有透射型光传感器，其含有发射光线的发光器和接受光线的受光器。而且，在所述专利文献1中，使大致呈V字形状的手（发光器和受光器）位于配置在基板收装盒内的基板的下方后，能够使该手向上方移动。此时，基于受光器是否接受了光线，能够检测出配置在基板收装盒内的基板的配置状态（有无基板、基板的姿态和离开盒时的状态）。

此外，在专利文献1所述的以往基板搬运装置（基板搬运机器人）中，其结构为在俯视时，手中心线（连接手的旋转中心与手保持基板时的基板保持中心的直线）相对于基板收装盒的前表面在垂直方向上配置的状态下，检测配置在基板收装盒内的基板的配置状态。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-219209号公报

发明内容

本发明所要解决的问题

然而，在以往的基板搬运装置（基板搬运机器人）中，由于其结构为，手中心线相对于基板收装盒的前表面在垂直方向上配置的状态下，检测配置在基板收装盒内的基板的配置状态，因此能想到以下问题，即、由于基板搬运机器人的搬运用臂较短，无法使手中心线相对于基板收装盒的前表面在垂直方向上配置，从而不能检测到配置在基板收装盒（基板载置部）内的基板的配置状态。

本发明是为了解决所述问题而做出的，本发明的一个目的是提供一种即使在基板搬运机器人的臂较短时，也能够检测基板载置部的基板的配置状态的基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法。

为解决问题的方法

第一技术方案中的基板搬运机器人具有手部和控制部，其中，所述手部上设有用于检测基板载置部上的基板的配置状态的检测部，控制部的结构为，在俯视时手部相对于基板收装中心线向基板搬运机器人的旋转中心侧倾斜的状态下，通过检测部检测基板载置部上的基板的配置状态，其中，所述基板收装中心线相对于基板载置部的前表面在垂直方向上。

在第一技术方案的基板搬运机器人中，如上所述，控制部的结构为，在俯视时手部相对于基板收装中心线向基板搬运机器人的旋转中心侧倾斜的状态下，通过检测部检测基板载置部上的基板的配置状态，其中，所述基板收装中心线相对于基板载置部的前表面在垂直方向上。由于能在手部接近基板搬运机器人的旋转中心侧的状态下通过检测部检测基板载置部上的基板的配置状态，从而即使基板搬运机器人的臂较短，也能够检测基板载置部上的基板的配置状态。

第二技术方案中的基板搬运系统具有基板载置部和基板搬运机器人，该基板搬运机器人配置在被处理装置包围的基板搬运机器人设置区域，该基板搬运机器人具有手部和控制部，其中，所述手部上设有用于检测基板载置部上的基板的配置状态的检测部，控制部的结构为，在俯视时手部相对于基板收装中心线向基板搬运机器人的旋转中心侧倾斜的状态下，通过检测部检测基板载置部上的基板的配置状态，其中，所述基板收装中心线相对于基板载置部的前表面在垂直方向上。

在第二技术方案的基板搬运系统中，如上所述，控制部的结构为，在俯视时手部相对于基板收装中心线向基板搬运机器人的旋转中心侧倾斜的状态下，通过检测部检测基板载置部上的基板的配置状态，其中，所述基板收装中心线相对于基板载置部的前表面在垂直方向上。由于能在手部接近基板搬运机器人的旋转中心侧的状态下通过检测部检测基板载置部上的基板的配置状态，从而即使基板搬运机器人的臂较短，也能够提供能检测基板载置部上的基板的配置状态的基板搬运系统。

第三技术方案的基板配置状态的检测方法具有移动工序和检测工序，在移动工序中移动手部，使得在俯视时手部呈相对于基板收装中心线向基板搬运机器人的旋转中心侧倾斜的状态，其中，所述基板收装中心线相对于基板载置部的前表面在垂直方向上；在检测工序中，在手部相对于基板收装中心线向基板搬运机器人的旋转中心侧倾斜的状态下，通过设在手部上的检测部检测基板载置部上的基板的配置状态，其中，所述基板收装中心线相对于基板载置部的前表面在垂直方向上。