[发明专利]一种承载装置及等离子体加工设备

摘要

本发明提供的承载装置及等离子体加工设备，包括托盘和绝缘环，在托盘上设有承载被加工工件的承载位，环绕承载位还设有环形凹槽；绝缘环用于限制置承载位上的被加工工件水平移动；在绝缘环的外周壁上设有至少一对凸部；环形凹槽包括第一槽段和第二槽段，二者各自的对数与凸部的对数相对应，且第一槽段与第二槽段相间设置，其中，第一槽段被设置为当旋转绝缘环而使凸部分别与相应的第一槽段相对时，能使绝缘环移入或移出环形凹槽；第二槽段被设置为当旋转绝缘环而使凸部分别与相应的第二槽段相对时，能阻止绝缘环移出环形凹槽。本发明提供的承载装置，不仅可以降低绝缘环的制造成本，而且还可以降低损害晶片或绝缘环的风险，从而提高生产效率。

主权项

一种承载装置，其包括托盘和绝缘环，在所述托盘上表面设置有用于承载被加工工件的承载位，并且在所述托盘的上表面上还设置有环绕所述承载位的环形凹槽，用于容纳所述绝缘环；所述绝缘环用于限制所述承载位上的被加工工件水平移动；其特征在于，在所述绝缘环的外周壁上设置有至少一对凸部，每对凸部关于所述承载位的中心对称；所述环形凹槽包括第一槽段和第二槽段，二者各自的对数与所述凸部的对数相对应，且所述第一槽段与第二槽段相间设置，其中，每对第一槽段关于所述承载位的中心对称，且所述第一槽段被设置为：通过旋转所述绝缘环而使每对凸部分别与相应的一对第一槽段相对时，能够使所述绝缘环移入或移出所述环形凹槽；每对第二槽段关于所述承载位的中心对称，且所述第二槽段被设置为：通过旋转所述绝缘环而使每对凸部分别与相应的一对第二槽段相对时，能够阻止所述绝缘环移出所述环形凹槽。