[发明专利]半导体生产仿真系统

摘要

本发明公开了一种半导体生产仿真系统，应用于MES系统上，通过从该MES系统中获取WIP信息和机台进出货的历史记录，并利用输入模块输入派工规则、晶圆投片计划、仿真开始时间、仿真结束时间和WIP信息存储频率等数据信息，再利用计算模块对上述数据进行处理后，可精准的计算出在仿真开始至仿真结束时间段内，按照设定的存储频率对WIP信息进行存储操作，同时还将机台进货和出货等相关的KPI数据进行实时存储，进而提高仿真的精准度，且其开发成本低，易于操作运行。

主权项

1.一种半导体生产仿真系统，应用于MES系统上，其特征在于，所述仿真系统包括：汇总模块、输入模块、计算模块、报告模块和输出模块；所述MES系统将产品批次数据信息发送至所述汇总模块；所述汇总模块对接收到的所述产品批次数据信息进行汇总处理后，输出STDRT数据和STDWT数据至所述计算模块；所述计算模块从所述MES系统中获取当前的WIP数据和产品工艺流程信息，并利用所述输入模块获取WSP数据、GDR数据、SST数据、SET数据、SWIPF数据和SWT数据；其中，所述计算模块根据预先设定的规则对接收的所有数据进行处理后，利用所述报告模块生成报告，并通过所述输出模块将所述报告输出；所述计算模块上预先设定的规则包括：步骤S1，基于所述WIP数据生成每个批次的NA数据和NAT数据；步骤S2，根据所述NA数据获取TO批次清单和TI批次清单，并根据所述GDR数据对上述的批次清单进行排序；步骤S3，从上述排序后的批次清单中提取NAT与SCT相等的子批次清单，并根据NA数据值，对相应批次进行数据操作；步骤S4，于TI批次清单和TO批次清单中获取NAT最小的值，并将SCT的值赋值为该NAT最小的值；步骤S5，重复步骤S2～S4，直至SCT≥SET；步骤S6，存储WIP信息，并输出处理后的数据，以生成所述报告。