[发明专利]半导体生产仿真系统

权利要求书

1.一种半导体生产仿真系统，应用于MES系统上，其特征在于，所述仿真系统包括：汇总模块、输入模块、计算模块、报告模块和输出模块；

所述MES系统将产品批次数据信息发送至所述汇总模块；

所述汇总模块对接收到的所述产品批次数据信息进行汇总处理后，输出STDRT数据和STDWT数据至所述计算模块；

所述计算模块从所述MES系统中获取当前的WIP数据和产品工艺流程信息，并利用所述输入模块获取WSP数据、GDR数据、SST数据、SET数据、SWIPF数据和SWT数据；

其中，所述计算模块根据预先设定的规则对接收的所有数据进行处理后，利用所述报告模块生成报告，并通过所述输出模块将所述报告输出；

所述计算模块上预先设定的规则包括：

步骤S1，基于所述WIP数据生成每个批次的NA数据和NAT数据；

步骤S2，根据所述NA数据获取TO批次清单和TI批次清单，并根据所述GDR数据对上述的批次清单进行排序；

步骤S3，从上述排序后的批次清单中提取NAT与SCT相等的子批次清单，并根据NA数据值，对相应批次进行数据操作；

步骤S4，于TI批次清单和TO批次清单中获取NAT最小的值，并将SCT的值赋值为该NAT最小的值；

步骤S5，重复步骤S2～S4，直至SCT≥SET；

步骤S6，存储WIP信息，并输出处理后的数据，以生成所述报告。

2.如权利要求1所述的仿真系统，其特征在于，所述报告为日报、周报和/或月报。

3.如权利要求1所述的仿真系统，其特征在于，所述报告包括WIP报告、CT报告、TP报告和机台组的负荷报告。

4.如权利要求1所述的仿真系统，其特征在于，所述步骤S1还包括：

当WIP中批次的状态为等待，则将NA赋值为“TI”；当STDWT-WT＞0时，将NAT赋值为SST+STDWT-WT；否则，将NAT赋值为SST；

当WIP中批次的状态为运行，则将NA赋值为“TO”；当STDRT-RT＞0时，将NAT赋值为SST+STDRT-RT；否则，将NAT赋值为SST；

然后，将SST赋值为SCT的值。

5.如权利要求1所述的仿真系统，其特征在于，所述子批次清单包括TO子批次清单和TI子批次清单，所述步骤S3还包括：

首先，于所述批次清单中获取所述TO子批次清单时，对TO子批次清单中的每一批次，将新NA赋值为“TI”，新NAT赋值为NAT+STDWT，CPLC赋值为CPLC-1，并根据工艺流程获取下一个工艺步骤的信息；

然后，于所述批次清单中获取所述TI子批次清单时，对TI子批次清单中的每一批次，如果CPLC≤MPLC，则将新NA赋值为“TO”，新NAT赋值为NAT+STDRT，CPLC赋值为CPLC+1；否则，将新NAT赋值为机台组下一即将出货的批次的NAT+SWT。

6.如权利要求5所述的仿真系统，其特征在于，所述步骤S3还包括将TI和TO的历史数据进行存储的操作步骤。

7.如权利要求1所述的仿真系统，其特征在于，所述步骤S6中根据所述SWIPF数据进行所述WIP信息存储操作。

8.如权利要求1所述的仿真系统，其特征在于，所述规则还包括：以所述步骤S6中存储的WIP数据作为输入数据，并重复步骤S1～S6，再次进行仿真运算。

9.如权利要求1所述的仿真系统，其特征在于，所述STDWT的值为STDQT的值与STDHT的值之和。