[发明专利]半导体生产仿真系统

说明书

本发明公开了一种半导体生产仿真系统，应用于MES系统上，通过从该MES系统中获取WIP信息和机台进出货的历史记录，并利用输入模块输入派工规则、晶圆投片计划、仿真开始时间、仿真结束时间和WIP信息存储频率等数据信息，再利用计算模块对上述数据进行处理后，可精准的计算出在仿真开始至仿真结束时间段内，按照设定的存储频率对WIP信息进行存储操作，同时还将机台进货和出货等相关的KPI数据进行实时存储，进而提高仿真的精准度，且其开发成本低，易于操作运行。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体生产仿真系统。

背景技术

现有的半导体生产仿真系统一般均是基于统计算法(statistic algorithm)和/或实时派工系统(Real Time Dispatch，简称RTD)而进行的仿真；虽然基于统计算法的仿真系统，其应用简单且开发成本低，但其仿真结果的精准度(accuracy)很低，而仿真结果精准度很高的仿真系统一般都是基于实时派工系统的仿真系统，或是同时基于实时派工系统和统计算法的仿真系统，但是其应用均较为复杂，且开发成本很高。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明提供了一种半导体生产仿真系统(ProductionSimulator)，应用于制造执行系统(manufacturing execution system，简称MES)上，并基于常规的派工规则(base on general dispatch rule)，其中，所述仿真系统包括：汇总模块(data summary module)、输入模块(input interface)、计算模块(calculationmodule)、报告模块(report module)和输出模块(output)；

所述MES系统将产品批次数据信息(Lot transaction records)发送至所述汇总模块；

所述汇总模块对接收到的所述产品批次数据信息进行汇总处理后，输出标准工艺步骤运行时间(standard step run time，简称STDRT)数据和标准工艺步骤等待时间(standard step wait time，简称STDWT)数据至所述计算模块，且该STDWT的值为标准工艺步骤排队时间(standard step queue time，简称STDQT)的值与标准工艺步骤扣留时间(standard step hold time，简称STDHT)的值之和；

所述计算模块从所述MES系统中获取当前的生产工艺流程(work in process，简称WIP)数据和产品工艺流程信息，并利用所述输入模块获取晶圆投片计划(wafer startplan，简称WSP数据)、常规派工规则(general dispatch rule，简称GDR)数据、仿真开始时间(simulate start time，简称SST)数据、仿真结束时间(simulate end time，简称SET)数据、WIP信息存储频率(store work in process information frequency，简称SWIPF)数据和仿真等待时间(simulate wait time，简称SWT)数据；

其中，所述计算模块根据预先设定的规则对接收的所有数据进行处理后，利用所述报告模块生成报告，并通过输出模块将所述报告输出。

上述的仿真系统，其中，所述报告为日报、周报和/或月报等报告。

上述的仿真系统，其中，所述报告为关键绩效指标(Key Performance Indicator，简称KPI)，优选的该报告可包括WIP报告、周期(cycle time，简称CT)报告、产量(throughput，简称TP)报告和机台组的负荷报告(machine group loading reports)等。

上述的仿真系统，其中，所述计算模块上预先设定的规则包括：