[发明专利]气相生长装置及气相生长方法

摘要

本发明的实施形态的气相生长装置，具备反应室；配置在反应室的上部，具有配置在第1水平面内、互相平行地延伸的多个第1横向气体流路，与第1横向气体流路连接、沿纵向延伸、在反应室一侧具有第1气体喷出孔的多个第1纵向气体流路，配置在比第1水平面靠上方的第2水平面内、沿与第31横向气体流路相同的方向互相平行延伸的多个第2横向气体流路，以及与第2横向气体流路连接、经过第1横向气体流路之间沿纵向延伸、在反应室一侧具有第2气体喷出孔的多个第2纵向流路，给反应室内提供气体的淋浴板；以及设置在反应室内的上述淋浴板下方，能够载置基板的支承部。

主权项

一种气相生长装置，其特征在于，具备：反应室；淋浴板，被配置在上述反应室的上部，具有：提供第1工作气体的第1气体供给通道；与上述第1气体供给通道连接的一对第1歧管；配置在比上述一对第1歧管靠下方的第1水平面内、互相平行地延伸的多个第1横向气体流路；在上述第1横向气体流路的两端部连接上述一对第1歧管和上述第1横向气体流路、沿纵向延伸的第1连接流路；与上述第1横向气体流路连接、沿纵向延伸、在上述反应室一侧具有第1气体喷出孔的多个第1纵向气体流路；提供与上述第1工作气体不同的第2工作气体的第2气体供给通道；与上述第2气体供给通道连接的一对第2歧管；配置在比上述一对第2歧管靠下方并且比上述第1水平面靠上方的第2水平面内、沿与上述第1横向气体流路相同的方向而互相平行延伸的多个第2横向气体流路；在上述第2横向气体流路的两端部连接上述一对第2歧管和上述第2横向气体流路、沿纵向延伸的第2连接流路；以及与上述第2横向气体流路连接、经过上述第1横向气体流路之间沿纵向延伸、在上述反应室一侧具有第2气体喷出孔的多个第2纵向气体流路；该淋浴板给上述反应室内提供气体；以及，支承部，被设置在上述反应室内的上述淋浴板下方，能够载置基板。