[发明专利]树脂组合物、固化膜、其形成方法、半导体元件及显示元件

摘要

本发明涉及树脂组合物、固化膜、其形成方法、半导体元件及显示元件。所述树脂组合物含有[A1]具有结构单元(I)和结构单元(II‑1)的聚合物，该结构单元(I)包含由下述式(1)表示的基团以及下述式(2)表示的基团组成的组中选出的至少一种，该结构单元(II‑1)包含交联性基团(a1)。所述树脂组合物可形成具有优异的表面硬度并且可充分满足灵敏度、显影密接性、耐化学品性、耐热性、透射率以及相对介电常数等一般特性的固化膜，且保存稳定性优异。

主权项

1.一种固化膜形成用热固化性树脂组合物，其含有[A1]具有结构单元(I)、结构单元(II‑1)和结构单元(IV)的聚合物，该结构单元(I)为从由下述式(I‑3)～(I‑6)、(I‑8)～(I‑15)表示的结构单元组成的组中选出的至少一种，该结构单元(II‑1)包含从由环氧乙烷基以及氧杂环丁基组成的组中选出的至少一种交联性基团(a1)，该结构单元(IV)为从下述式(IV‑2)～(IV‑4)、(IV‑6)、(IV‑8)～(IV‑10)中选出的至少一种，式(I‑3)～(I‑6)、(I‑8)～(I‑15)中，R各自独立地为氢原子或甲基；上述式(IV‑2)～(IV‑4)、(IV‑6)、(IV‑8)～(IV‑10)中，R⁹是氢原子、甲基或三氟甲基，R^M是氢原子或甲基，s是1～10的整数。