[发明专利]用于制造太阳能电池的方法及由此制造的太阳能电池有效
申请号: | 201380076690.2 | 申请日: | 2013-09-24 |
公开(公告)号: | CN105264302B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 金容贤;李知衍;李廷喆 | 申请(专利权)人: | 三星SDI株式会社 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/02;H01L31/068 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 韩国京畿道龙仁*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种用于制造太阳能电池的方法及由此制造的太阳能电池,所述方法包括以下步骤:通过在衬底的一个表面上进行局部第一杂质掺杂以形成电极图案及对准标记;以及在第一掺杂衬底的整个表面上进行第二杂质掺杂,其中由于第一掺杂及第二掺杂,在第一发射极或第二发射极上形成对准标记并且在第二发射极上形成电极图案。当制造选择性发射极时,通过掺杂工艺形成对准标记。使用对准标记可以增加选择性发射极中形成的电极图案与所得电极线的匹配。另外,具有选择性发射极的太阳能电池具有极好的转换效率及高填充因数值。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 具有 选择性 发射极 太阳能电池 方法 由此 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造太阳能电池的方法,包括:进行第一掺杂,其中掺杂剂局部掺杂在衬底的一个表面上以形成电极图案部分及对准标记;进行第二掺杂,其中掺杂剂掺杂在所述衬底的经所述第一掺杂的表面上;使用所述对准标记在所述电极图案部分上进行用于太阳能电池电极的组成物的对准印刷;以及烘烤经印刷的所述组成物以形成前电极,其中通过所述第一掺杂及所述第二掺杂,所述对准标记被形成为第一发射极部分或第二发射极部分,并且所述电极图案部分被形成为第二发射极部分。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的