[发明专利]用于处理基底堆叠的保持系统、装置及方法

摘要

本发明涉及一种保持系统(1,20)，其用于处理待与第二基底(13)接合的第一基底(4)，该保持系统具有：用于保持第一基底(4)的保持表面(1o,20o)，以及相对于保持表面(1o,20o)凹入的至少一个凹口(2,21)，该凹口用于保持磁性作用的附接机构(5,5',5'')，以用于相对于与第一基底(4)对准的第二基底(13)固定第一基底(4)。此外，本发明涉及一种用于处理基底堆叠(14)的装置，该基底堆叠由第一基底(4)和相对于第一基底(4)对准的第二基底(13)构成，该装置具有磁性作用的附接机构(5,5',5'')以用于在对准的固定位置相对于第二基底(13)固定第一基底(4)。此外，本发明涉及对应的方法。

主权项

1.一种保持系统(1,20)，其用于处理待与第二基底(13)接合的第一基底(4)，所述保持系统具有：－保持表面(1o,20o)，其用于保持第一基底(4)，以及－至少一个凹口(2,21)，相对于所述保持表面(1o,20o)凹入，用于保持磁性作用的附接机构，以用于相对于与所述第一基底(4)对准的第二基底(13)固定所述第一基底(4)，－其中，另外的磁体被应用在所述第二基底(13)的背对所述第一基底(4)的固持侧(13h)上；其中，由所述第一基底(4)和所述第二基底(13)构成的基底堆叠(14)在省略所述保持系统(1,20)的情况下能够仅利用所述附接机构移动。