[发明专利]感光性树脂组合物、感光性膜以及抗蚀图案的形成方法有效
| 申请号： | 201380062944.5 | 申请日： | 2013-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN104823110B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 岩下健一;村上泰治;赖华子;加藤哲也 | 申请（专利权）人： | 昭和电工材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;H01L21/027;H05K3/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;王未东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)成分，具有酚性羟基的树脂；(B)成分，具有2个以上环氧乙烷环的脂肪族或脂环式环氧化合物；(C)成分，光敏性酸产生剂；以及(D)成分，溶剂，相对于上述(A)成分100质量份，含有上述(B)成分20～70质量份。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 以及 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有：(A)成分，具有酚性羟基的树脂；(B)成分，具有2个以上环氧乙烷环的脂肪族或脂环式环氧化合物；(C)成分，光敏性酸产生剂；以及(D)成分，溶剂，相对于所述(A)成分100质量份，含有所述(B)成分20～70质量份。
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