[发明专利]RF脉冲边沿整形

摘要

一种射频(RF)产生模块，包括功率控制模块，该功率控制模块接收RF产生模块分别在第一状态和第二状态下的输出的第一期望振幅和第二期望振幅，并且基于第一期望振幅和第二期望振幅输出与从第一状态至第二状态的转换相对应的输入功率设定值。频率控制模块接收输入功率设定值并输出与输入功率设定值相对应的频率设定值。脉冲整形模块接收输入功率设定值、频率设定值和何时从第一状态向第二状态转换的指示并且基于该输入功率设定值、该频率设定值和该指示将RF产生模块的输出从第一状态转换至第二状态。

主权项

一种射频(RF)产生模块，包括：功率控制模块，接收所述RF产生模块分别在第一状态和第二状态下的输出的第一期望振幅和第二期望振幅，并且基于所述第一期望振幅和所述第二期望振幅输出与从所述第一状态至所述第二状态的转换相对应的输入功率设定值；频率控制模块，所述频率控制模块接收所述输入功率设定值并且输出与所述输入功率设定值相对应的频率设定值；以及脉冲整形模块，所述脉冲整形模块接收所述输入功率设定值、所述频率设定值和何时从所述第一状态向所述第二状态转换的指示，并且基于所述输入功率设定值、所述频率设定值和所述指示将输出信号从所述第一状态转换至所述第二状态。