[发明专利]具有多个膜片电极的MEMS压力传感器在审
| 申请号： | 201380054960.X | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104854436A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | A·B·格雷厄姆;A·费伊;B·格尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司;A·B·格雷厄姆;A·费伊;B·格尔 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;B81C1/00;G01D5/241 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 在一种实施例中，MEMS传感器包括：第一层中的第一固定电极；限界在所述第一固定电极上方的空腔；在所述空腔上方延伸的膜片；限界在所述膜片中并且基本上直接位于所述第一固定电极上方的第一可移动电极；至少部分地限界在所述膜片内并且至少部分直接位于所述空腔上方的第二可移动电极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 膜片 电极 mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS传感器，其包括：第一层中的第一固定电极；限界在所述第一固定电极上方的空腔；在所述空腔上方延伸的膜片；限界在所述膜片中并且基本上直接位于所述第一固定膜片上方的第一可移动电极；至少部分地限界在所述膜片内并且至少部分直接位于所述空腔上方的第二可移动电极。
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