[发明专利]具有高负载容量的化学气相渗透装置有效
申请号: | 201380042644.0 | 申请日: | 2013-07-12 |
公开(公告)号: | CN104540980B | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | S·贝特朗;F·拉穆鲁;S·古雅尔;C·德康 | 申请(专利权)人: | 赫拉克勒斯公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/46;C23C16/04;C23C16/26 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司11314 | 代理人: | 程伟,周玉梅 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 用于渗透主要在纵向方向上延伸的三维多孔预成型体(20)的化学气相渗透装置(600),所述装置包括平行六面体反应室(610),所述反应室的侧壁(612、613)包括加热构件(615);以及放置在所述反应室(610)中的负载设备(10)的多个堆(50),每个负载设备(10)由旨在接收待被渗透的多孔预成型体(20)的装配有支撑元件的平行六面体接收器形成。 | ||
搜索关键词: | 具有 负载 容量 化学 渗透 装置 | ||
【主权项】:
用于主要在纵向方向上延伸的三维形状的多孔预成型体(20)的化学气相渗透装置(600),所述装置包括:·平行六面体形状的反应室(610),所述反应室的侧壁(611‑614)包括加热器构件;和·在所述反应室(610)中排列的负载器设备(10)的多个堆(50),每个负载器设备(10)为设置有接收用于渗透的航空发动机叶片的多孔预成型体(20)的支撑元件(1100、1110)的平行六面体形状的外壳(11)的形式,其中外壳具有两个纵向壁(110、111)和两个横向壁(112、113),所述纵向壁(110、111)在它们之间限定用于多孔预成型体(20)的负载空间(16);并且其中,在每个堆中,负载器设备(10)相互配合以形成在所述反应室的竖直方向上延伸的负载容积,由此使得反应气体的流动能够以基本上直线的方式发生在每个堆内,其中在每个负载器设备(10)中,多孔预成型体(20)并列地相互对齐,使得它们的压力侧表面(123)或吸力侧表面(122)定向在同一方向上。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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