[发明专利]移动平台

摘要

本发明能防止在进行了气氛调整的处理室内使用的、利用气体悬浮的移动平台的移动引起的微粒粉尘的卷起。在进行了调整的气氛下对被处理体(半导体基板(100))进行处理的处理室(2)内所设置的移动平台(3)中，具有设置有被处理体的平台主体(30)、以及利用气体压力以非接触方式对平台主体(30)进行支承的气体支承部，气体支承部至少具有一个或多个气垫(35)，该气垫(35)朝向处理室(2)的水平面及/或垂直面，并向所述面吹出气体，在气垫(35)的周围设有微粒粉尘吸引口(42)，还设有与微粒粉尘吸引口(42)连通并向所述处理室外伸长的吸引气体排气线(吸引气体排气管(43))。

主权项

一种移动平台，该移动平台设置在处理室内，所述处理室在进行了调整的气氛下对被处理体进行处理，其特征在于，包括：设置有所述被处理体的平台主体；以及利用气体压力以非接触方式将所述平台主体相对于所述处理室的水平面及/或垂直面进行支承的气体支承部，所述气体支承部至少具有一个或多个气垫，所述气垫朝向所述处理室的水平面及/或垂直面，并向所述面吹出气体，具有垫套，所述垫套隔开间隔地对所述气垫的外周面侧以及与所述气体支承部的支承面侧相反一侧的气垫背面进行覆盖，利用所述气垫外周面与所述垫套周边之间的间隙来设置微粒粉尘吸引口，还设有吸引气体排气线，该吸引气体排气线朝所述气垫背面与所述垫套之间的空间开口，经由所述垫套内空间而与所述微粒粉尘吸引口连通，并向所述处理室外伸长。