[实用新型]晶圆劈裂机

摘要

本实用新型揭露一种晶圆劈裂机，包含枪管座、冂字型固定基板及劈刀座，枪管座固定于冂字型固定基板上，且枪管座内部具有一枪管及位于枪管内的钢珠，钢珠通过电控的压力调整阀的运作，使之敲击位于下方的劈刀座，并使劈刀座上的劈刀敲击并切割晶圆，而冂字型固定基板与劈刀座以两对弹片相互连接，于钢珠敲击时，通过弹片的弹力缩短往下的距离位移，使劈刀座产生稳定的上下移动，以及产生高速的回弹，使切割晶圆的作业能更完全且精准，降低成本的损失。

主权项

一种晶圆劈裂机，其特征在于，包括： 一枪管座，为一中空管，具有一第一端及相对该第一端的一第二端，并于该第一端外周缘形成一气接座； 一枪管，为一中空管，具有一第一端及相对该第一端的一第二端，由该枪管座的第二端配置于该枪管座的中空管内，并使该枪管的第二端与该枪管座的第二端对齐配置； 一缓冲块，由该枪管座的第一端配置于该枪管座的中空管内，并接于该枪管的第一端，且具有一进气道，该进气道的纵向中心线对准该枪管的中空管的纵向中心线配置； 一覆盖，盖于该气接座，且具有一进气孔，该覆盖的进气孔对准该缓冲块的进气道而配置； 一钢珠，配置于该枪管的中空管内； 一冂字型固定基板，由一水平板及位于该水平板两边端的两垂直板所组成，该水平板具有一贯穿的配置孔，用以使该枪管座穿过并止于该枪管座的气接座； 一对弹片，具有两配置部及一悬空部，两配置部分别与所述垂直板下方连接，悬空部位于两配置部之间； 一劈刀座，配置于该对弹片的下方，并连接于该悬空部，并使该枪管座的第二端位于该劈刀座上方；及 一劈刀，配置于该劈刀座下方。