[实用新型]晶圆劈裂机有效

专利信息
申请号: 201320876016.X 申请日: 2013-12-30
公开(公告)号: CN203746818U 公开(公告)日: 2014-07-30
发明(设计)人: 郑礼忠;蔡奇陵 申请(专利权)人: 郑礼忠;蔡奇陵
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78;B28D5/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 劈裂
【权利要求书】:

1.一种晶圆劈裂机,其特征在于,包括: 

一枪管座,为一中空管,具有一第一端及相对该第一端的一第二端,并于该第一端外周缘形成一气接座; 

一枪管,为一中空管,具有一第一端及相对该第一端的一第二端,由该枪管座的第二端配置于该枪管座的中空管内,并使该枪管的第二端与该枪管座的第二端对齐配置; 

一缓冲块,由该枪管座的第一端配置于该枪管座的中空管内,并接于该枪管的第一端,且具有一进气道,该进气道的纵向中心线对准该枪管的中空管的纵向中心线配置; 

一覆盖,盖于该气接座,且具有一进气孔,该覆盖的进气孔对准该缓冲块的进气道而配置; 

一钢珠,配置于该枪管的中空管内; 

一冂字型固定基板,由一水平板及位于该水平板两边端的两垂直板所组成,该水平板具有一贯穿的配置孔,用以使该枪管座穿过并止于该枪管座的气接座; 

一对弹片,具有两配置部及一悬空部,两配置部分别与所述垂直板下方连接,悬空部位于两配置部之间; 

一劈刀座,配置于该对弹片的下方,并连接于该悬空部,并使该枪管座的第二端位于该劈刀座上方;及 

一劈刀,配置于该劈刀座下方。 

2.根据权利要求1所述的晶圆劈裂机,其特征在于,其中该缓冲块的外围围绕一O型环。 

3.根据权利要求1所述的晶圆劈裂机,其特征在于,其中该覆盖的该进气孔进一步连接于一电控的节气阀。 

4.根据权利要求1所述的晶圆劈裂机,其特征在于,其中该覆盖的该进气孔进一步连接于一电控的压力调整阀。 

5.根据权利要求1所述的晶圆劈裂机,其特征在于,其中该缓冲块具有一延伸部,并由该枪管的第一端延伸入该枪管的中空管内。 

6.根据权利要求5所述的晶圆劈裂机,其特征在于,其中该枪管座内部形成一内螺纹,且该缓冲块上形成一与该枪管座内部的该内螺纹相对应的外螺纹。 

7.根据权利要求5所述的晶圆劈裂机,其特征在于,其中该缓冲块上形成多个轴孔,且该枪管座上配置与所述轴孔相对应的止付螺丝。 

8.根据权利要求5所述的晶圆劈裂机,其特征在于,其中该缓冲块进一步配置一电控升降装置。 

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