[实用新型]金属有机化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种金属有机化学气相沉积装置，包括反应腔、设置于所述反应腔顶部的气体喷淋组件，和与所述气体喷淋组件相对设置的基座，所述反应腔的顶壁上设置有至少一个光学透窗，所述气体喷淋组件上与所述光学透窗相对设置有通孔，所述通孔的面积远大于所述气体喷淋组件的排气孔的面积，所述光学透窗的边缘设置有进气通路，用以向所述通孔内通入吹扫气体，所述吹扫气体与所述通孔相邻的所述排气孔排出的气体相同。本实用新型提供的金属有机化学气相沉积装置能在所述气体喷淋组件下方产生均匀的反应气体的气流场，使得能沉积得到性质和厚度均一的薄膜，提高了产品的良率。

主权项

一种金属有机化学气相沉积装置，包括反应腔、设置于所述反应腔顶部的气体喷淋组件，和与所述气体喷淋组件相对设置的基座，所述反应腔的顶壁上设置有至少一个光学透窗，所述气体喷淋组件上与所述光学透窗相对设置有通孔，所述通孔的面积远大于所述气体喷淋组件的排气孔的面积，其特征在于，所述光学透窗的边缘设置有进气通路，用以向所述通孔内通入吹扫气体，所述吹扫气体与所述通孔相邻的所述排气孔排出的气体相同。