[实用新型]金属有机化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉积装置，包括反应腔、设置于所述反应腔顶部的气体喷淋组件，和与所述气体喷淋组件相对设置的基座，所述反应腔的顶壁上设置有至少一个光学透窗，所述气体喷淋组件上与所述光学透窗相对设置有通孔，所述通孔的面积远大于所述气体喷淋组件的排气孔的面积，其特征在于，所述光学透窗的边缘设置有进气通路，用以向所述通孔内通入吹扫气体，所述吹扫气体与所述通孔相邻的所述排气孔排出的气体相同。 

2.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述通孔靠近所述光学透窗的一端设置有一环形管路，所述环形管路与所述进气通路连通，用以收容所述吹扫气体，所述环形管路的外表面具有多个第二排气孔，用以将所述吹扫气体排入所述通孔内。 

3.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述排气孔包括A型排气孔和B型排气孔，所述A型排气孔用于排出含III族金属有机源气体，所述B型排气孔用于排出含V族氢化物源气体，所述吹扫气体为含III族金属有机源气体或含V族氢化物源气体。 

4.如权利要求3所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述通孔与所述B型排气孔相邻，所述吹扫气体的组分与所述B型排气孔排出的气体的组分相同。 

5.如权利要求4所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述V族氢化物源为氨气，所述吹扫气体为分子量较大的气体和氨气的混合气体。 

6.如权利要求5所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述吹扫气体为氮气和氨气的混合气体。 

7.如权利要求5或6中任一项所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述吹扫气体中的氨气极大过量。 

8.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述第二排气孔在所述环形管路的外表面上散乱分布，用以使所述第二排气孔排出 的所述吹扫气体的气流方向呈多样化分布。 

9.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述光学透窗的材质为石英玻璃。