[实用新型]基于扫描隧道效应的在位测量装置有效
| 申请号： | 201320070913.1 | 申请日： | 2013-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN203310859U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 居冰峰;朱吴乐;杨舜尧;陈远流;张威 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q10/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于扫描隧道效应的在位测量装置。它包括L形机座、气浮主轴、Z向水平移动轴、X向水平移动轴、大理石支架、二维精密手调台、Y方向精密伺服电机、探头夹具、压电陶瓷、前置信号调制单元、扫描探针、被测工件；L形机座上设有气浮主轴、Z向水平移动轴以及X向水平移动轴，被测工件通过真空吸盘吸附固定在气浮主轴上，大理石支架固定在X向水平移动轴上，其上顺次设有二维精密手调台、Y方向精密伺服电机及探头夹具，在探头夹具上横向固定压电陶瓷，压电陶瓷的末端顺次固定前置信号调制单元和扫描探针。发明通过在位测量结构设计和扫描探针自动对心方法提出，使得扫描探针在在位测量中实现自动对心测量功能。本实用新型创新性的将扫描隧道效应应用于在位测量，并基于标准球实现扫描探针的自动对中。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 扫描 隧道 效应 在位 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于扫描隧道效应的在位测量装置，其特征在于包括气浮主轴（1）、Z向水平移动轴（2）、X向水平移动轴（3）、大理石支架（4）、二维精密手调台（5）、Y方向精密伺服电机（6）、探头夹具（7）、压电陶瓷（8）、前置信号调制单元（9）、扫描探针（10）、被测工件（11）、L形机座（12）；在L形机座（12）上设有气浮主轴（1）、Z向水平移动轴（2）以及X向水平移动轴（3），被测工件（11）通过真空吸盘吸附固定在气浮主轴（1）上，大理石支架（4）固定在X向水平移动轴（3）上，大理石支架（4）上顺次设有二维精密手调台（5）、Y方向精密伺服电机（6）及探头夹具（7），在探头夹具（7）上横向固定压电陶瓷（8），压电陶瓷（8）的末端顺次固定前置信号调制单元（9）和扫描探针（10）。
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- 宫会期;王劲川;孙丽欢;董立;颜世超;谢楠;单欣岩;郭阳;陆兴华 - 中国科学院物理研究所
- 2013-05-06 - 2014-11-12 - G01Q60/10
- 本发明提供一种扫描隧道显微镜扫描头，包括：用于固定针尖的针尖托、包括支撑结构的针尖托底座，其中针尖托与针尖托底座通过可分离的结合力结合。根据本发明的扫描隧道显微镜扫描头可以实现真空环境下扫描头针尖的安全快速更换，并且不会破坏现有获得的真空环境。
- 一种利用闭循环制冷机致冷的低温扫描隧道显微镜-201410091094.8
- 吴施伟;张帅;黄迪 - 复旦大学
- 2014-03-13 - 2014-07-02 - G01Q60/10
- 本发明公开了一种利用闭循环制冷机致冷的低温扫描隧道显微镜，包括：闭循环制冷机系统；氦气热交换气致冷隔振界面系统；低温扫描隧道显微镜扫描头系统；真空系统；减振平台；扫描隧道显微镜控制系统。本发明可以在无需液氦消耗的条件下实现与采用液氦致冷系统相比拟的原子级分辨的低温超高真空扫描隧道显微空间成像和高能量分辨的扫描隧道谱精密测量。本发明提供的利用闭循环制冷的技术方案也可用于其他需要低温和低振动环境的应用，如扫描探针显微镜家族的其他成员。通过加热元件和测温元件的反馈组合也可以实现大范围的变温。
- 可置于超高真空系统的具有耐高温高压可控反应仓的STM体系-201210438731.5
- 马晖 - 马晖;储富强
- 2012-11-07 - 2014-05-21 - G01Q60/10
- 本发明属于表面物理技术领域，尤其是扫描隧道显微镜领域。反应型扫描隧道显微镜是在现有STM的基础上，构建一种耐高温高压的结构单元——反应仓，进行有效密封之后，将其集成到STM上，可使STM在高温高压下工作。为了得到高品质的表面原子结构探测图像，反应型STM需要高度的稳定性、优越的减震装置，而这则需要通过精密的机械设计，使新增的反应仓完美的匹配在STM的底盘和支柱上，且能方便的开关反应仓以达到更换样品的需求。本发明借助两组风琴管装置，巧妙的解决了上述问题。
- 一种包含气流式反应仓的反应型扫描隧道显微镜-201210438741.9
- 马晖 - 马晖
- 2012-11-07 - 2014-05-21 - G01Q60/10
- 本发明属于表面物理技术领域。通过构造一个极小的气流式反应仓，并将其集成到扫描隧道显微镜上，实现了一种可同时监控原子表面结构、又可以测试化学反应活性或催化剂催化效率的新型扫描隧道显微镜——反应型扫描隧道显微镜。本发明可用于表面科学研究、薄膜生长领域的研究、细胞生物学研究、电化学以及催化剂领域的研究等。
- 专利分类
