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[发明专利]一种极低温兼容的高稳定性压电扫描-位移台-CN202310505559.9在审
发明人：黄成园;陈振岚;王浩远;程光磊 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种极低温兼容的高稳定性压电扫描‑位移台，包括滑动平台和基座；基座的活动仓内设有运动件，运动件通过弹性件与基座的活动仓活动连接，运动件上固定设置有多个导向球；滑动平台底部的多个滑槽与运动件上的多个导向球一一对应的滑动配合，并通过弹性压紧部件将滑动平台弹性压紧在运动件的多个导向球上；基座的活动仓内还设有驱动组件，驱动组件包括至少一个压电陶瓷致动器，压电陶瓷致动器的两端分别通过柔性铰链与运动件和基座相连接，通过控制施加在压电陶瓷致动器上的电压大小的不同，从而使得滑动平台与运动件之间相对静止或间歇性地发生相对移动，完成扫描动作或步进位移动作。本发明的优点：将扫描台和位移台合二为一。
一种低温兼容稳定性压电扫描位移

[发明专利]一种微悬臂梁阵列循环扫描系统-CN201710026150.3有效
发明人：薛长国;牛晓燕;滕艳华;张飞;闵凡飞;胡业林 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2017-01-13 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：以固定设置的同一只激光器作为M个扫描单元的共用激光光源，激光器固定地呈水平发出激光光束；以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列，针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜；M只平面反射镜共同固定设置在同一只转动台的不同位置上；驱动转动台的转动，使M只平面反射镜随着转动台的转动逐一地处在所述激光光束的光路中，并在M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光，且一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端，构成微悬臂梁阵列扫描系统，驱动转动台循环转动，实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。本发明系统搭建简单且易于控制，精度高。
一种悬臂梁阵列循环扫描系统

[发明专利]探针测量的控制方法、处理方法以及装置-CN202110265460.7在审
发明人：周向前;马欢;朗格诺;杜川 -专利权人：百及纳米技术（上海）有限公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种探针测量的控制方法、处理方法以及装置，所述探针测量的控制方法包括，控制M个测量探针与N个预警探针扫描待测表面时，通过所述预警探针检测所述待测表面的障碍物，获取对应的障碍物检测信号，其中，沿扫描运动方向，所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布；N、M均为大于或等于1的整数；根据所述障碍物检测信号，控制所述测量探针跨越过所检测到的障碍物。其中的预警探针可以识别障碍物，当检测到障碍物时，对测量探针产生预警，使得测量探针在到达障碍物之前就进行高度调整，而不需要降低横向速度来避免撞上障碍物，进而提高测量速度；本发明能够实现高速、精确的表面扫描测量。
探针测量控制方法处理以及装置

[发明专利]一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法-CN202210434915.8在审
发明人：郭颖;夏德铸;张徐开;王佳丽;赵兴强;严飞 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，该方法依然保留传统的逐行扫描方式，通过变速扫描的方法实现漂移过程中原子行的弯曲，从而矫正扫描图像。该方法摒弃了复杂的螺旋扫描方式，控制信号更加简单，扫描方式更加多样，后期矫正也更加方便。相对于传统标定显微镜的方式，其优点为：不需要显微镜标定，不需要更换样品，只需要一次性扫描完成，后期就可以对图像去除畸变。对于不同环境，显微镜漂移速度也不同，本发明也只需要一次性扫描成像即可。
一种扫描探针显微镜畸变方法

[发明专利]一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头-CN202210078911.0在审
发明人：郭颖;王佳丽;张徐开;夏德铸;严飞 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头，显微头包括X堆栈、Y堆栈、探针模块以及薄片，所述X堆栈、Y堆栈之间通过薄片粘接，X堆栈和Y堆栈以及探针模块。X堆栈、Y堆栈都是由正方形压电片堆栈而成，结构完全一致，其中一个仅负责X方向形变，Y方向通过粘接薄片使其无法形变；另一个则只负责Y方向形变，X方向不发生形变。从而实现X、Y方向扫描的结构分离，也解决了非正交问题，因此会大大降低扫描畸变。
一种畸变堆栈扫描探针显微

[发明专利]一种二维纳米定位平台-CN202010879903.7有效
发明人：张海涛;王志岳;陈智勇;易明磊 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种二维纳米定位平台，属于影像级原子力显微镜定位控制领域，包括：平台基身、运动平台和驱动装置，运动平台设置于平台基身的中心位置，用于在驱动信号的作用下在平台基身上进行位移运动；驱动装置分别与平台基身和运动平台连接，设有依次对应连接的四个方向的驱动器槽、四个方向的驱动支链、四个方向的连接支链和四个方向的传动支链组。驱动器槽中驱动器输出的驱动信号，经驱动支链、连接支链输出至传动支链组，并带动运动平台进行二维平移运动。本申请平台以运动平台为中心呈对称分布，各方向传动支链组采用三平行轴对称支链布局，能够有效降低耦合误差；一体化柔顺机构设计，具有高刚度无摩擦等特性，能够提高平台的固有频率。
一种二维纳米定位平台

[实用新型]应用于扫描探针显微镜中精密马达的弹片结构及调整机构-CN202123230398.2有效
发明人：陈鹏真 -专利权人：玻色子（北京）有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种应用于扫描探针显微镜中精密马达的弹片结构，该弹片结构为三角形，且弹片结构上开设有承重球压孔，弹片结构上还开设有螺丝孔组。本实用新型还提供一种调整机构，包括：承重球、压块、底板以及弹片结构。利用弹片结构压住承重球，以间接的压住压块，当下方底板倾斜时，压块可以自适应调整，始终保持与底板的紧密贴合；弹片结构设计合理，不仅便于安装，而且调整方式可控，预固定螺丝孔和调节螺丝孔分离设计可以使得弹片结构位置精确定位，结构也更加简洁，实际操作时只需要调整一个螺丝孔即可；解决了精密仪器应用中，活动压紧固定中弹片位移和多参量调节困难的技术问题，此外还具有操作简洁、结构稳定的优点。
应用于扫描探针显微镜精密马达弹片结构调整机构

[实用新型]探针测量装置-CN202120513998.0有效
发明人：周向前;马欢;朗格诺;杜川 -专利权人：百及纳米技术（上海）有限公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种探针测量装置，包括，扫描控制模块，以及用于测量所述待测对象的多个探针，所述多个探针包括M个测量探针与N个预警探针，沿扫描运动方向，所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布；所述扫描控制模块被配置为能与所述多个探针发生信号交互；以获取探针的测量结果，并控制所述探针运动；在扫描运动时，预警探针相较于测量探针会先到达扫描运动方向的各个位置，基于预警探针可以识别障碍物，当检测到障碍物时，对测量探针产生预警，使得测量探针在到达障碍物之前就进行调整，而不需要降低横向速度来避免撞上障碍物，进而提高测量速度。
探针测量装置

[实用新型]一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件-CN202122670205.9有效
发明人：姜伟 -专利权人：沈阳泽康检测服务有限公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，包括底座，所述底座的上方滑动连接有滑动台，所述滑动台在底座上方沿前后方向滑动，所述滑动台上方固定有两组固定柱，两组所述固定柱之间连接有丝杆，所述丝杆的外部套设有螺纹套块，所述螺纹套块的底部固定有固定板，所述固定板上固定有气缸，所述气缸的输出端连接伸缩杆，所述伸缩杆的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板，本实用新型能够对扫描电镜提供三轴控制驱动，进而可以方便在对不同的样品检测时都能满足其位置调整需求。
一种基于扫描电镜控制驱动组件

[发明专利]探针自动进针装置及探针自动进针方法-CN202111054880.7在审
发明人：张伟杰;贡宝连;许克标;张伟 -专利权人：国仪量子(合肥)技术有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种探针自动进针装置及探针自动进针方法，其中，探针自动进针装置包括探针组件和两个位移台，探针组件和待测样品间隔设置，探针组件相对于待测样品移动或振动，两个位移台在设定方向移动并具有两个配合状态，在第一配合状态下，两个位移台相向运动，探针组件和待测样品分别设在两个位移台上，在第二配合状态下，两个位移台同向联动，探针组件和待测样品的一个设在位移台上，另一个设在固定台上，第一位移台的第一最大移动值小于第二位移台的第二最大移动值，探针组件和待测样品之间的距离小于第二最大移动值。本发明实施例的探针自动进针装置，两个位移台配合可将探针组件与待测样品由较远距离移动至目标距离，自动化程度高。
探针自动进针装置方法

[发明专利]应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置-CN202110421860.2有效
发明人：江亮;徐文镔;钱林茂;解国新;和枫 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，包括腔体上盖、组合探针切换机构和组合探针，利用该装置在真空或气氛环境下实现多模式组合探针原位高效切换时，首先将该装置安装在扫描探针显微镜上，设置真空或气氛环境，然后组合探针切换机构摆动，驱动组合探针依次到目标位置，对样品进行多模式原位测试，该装置解决了现有扫描探针显微镜的不足，避免切换探针时破坏实验环境，支持多模式原位测试，通过电磁测试模式测试或改变样品表面电磁类物理量，通过轻敲模式无损测量样品表面形貌，尤其适用于软样品，通过摩擦力模式测试样品表面摩擦磨损，采用摆动式设计，减小装置体积，节约腔体空间，增加装置通用性。
应用于扫描探针显微镜摆动模式组合测试装置

[发明专利]一种具有磁-电信号探测功能的扫描探针显微镜的探测方法-CN201710308748.1有效
发明人：杨华礼;王保敏;李润伟;郭姗姗;陈斌 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2017-05-04 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有磁‑电信号探测功能的扫描探针显微镜的探测方法，在一次扫描过程中利用接触模式同时得到样品的形貌信号与导电信号或者形貌与压电信号，然后再进行第二次扫描，利用非接触模式得到样品的磁信号。与现有技术相比，该探测方法简化了探测过程，高效地实现了样品的电学特性，包括导电特性和压电特性，以及磁性的表征，降低了探测成本，提高了探测精度。另外，本发明优选在扫描探针显微镜系统中引入开尔文控制器用于消除静电力，从而在磁信号测量中有效避免了样品表面电势的干扰，提高了测试准确性。
一种具有电信号探测功能扫描探针显微镜方法

[发明专利]扫描探针显微镜的扫描头-CN201710704690.2有效
发明人：郇庆;吴泽宾;高鸿钧 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种扫描探针显微镜的扫描头，所述扫描头包括：扫描头框架，其具有相对设置的第一端部和第二端部，所述第一端部和第二端部分别限定了第一容纳空间和第二容纳空间；位于所述第一容纳空间中的样品台；位于所述第二容纳空间中的扫描模块；以及固定在所述扫描头框架的第二端部的多个固定电极。本发明的扫描头的信号线在操作过程中不会脱落或扯断。另外扫描头允许激光入射到其扫描探针上，使得扫描探针能够与激光进行耦合，应用范围广。本发明的扫描头采用模块化设计，结构紧凑，节省了制造成本和维修成本。
扫描探针显微镜

[发明专利]原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器-CN201710255058.4有效
发明人：刘璐;吴森;胡晓东;徐临燕;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2017-04-18 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器，装置有Z扫描器和连接在Z扫描器下面的探针装置，Z扫描器有由下至上依次设置的环形铁片、环形压电陶瓷片和环形磁铁，环形铁片、环形压电陶瓷片和环形磁铁同轴设置，内周共同构成通光孔；探针装置有用于与环形铁片通过磁力相连的探针夹持结构，嵌入在探针夹持结构上的悬臂梁探针和通过螺丝将悬臂梁探针固定在探针夹持结构上的弹簧压片。探针装置的探针装置安装器有安装器主体的一端形成有矩形开口，矩形开口的两侧和底部分布的形成有用于通过沉头螺钉连接探针装置的沉头螺纹孔，安装器主体远离矩形开口部分，形成有用于连接外部装置的沉头通孔。本发明能够适用于各种功效和多种扫描方式的原子力显微镜。
原子显微镜扫描器探针装置安装

[发明专利]用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统-CN202010623027.1在审
发明人：吴启东 -专利权人：合肥兆科机电科技有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，包括旋转环、旋转头组件、90度直角转接器、旋转驱动器组件，所述旋转头组件设置有多组，且旋转头组件安装在旋转环上，所述90度直角转接器的一端连接旋转环，所述90度直角转接器的另一端连接旋转驱动器组件，所述旋转驱动器组件通过90度直角转接器改变动力方向，本发明通过本地控制器及远程上位机可实现同心圆三维快速电动步进扫描，设计结构紧凑，密封性强，体积小，移动精度高，同时便于根据实际情况测量要求跟换相对应探头以满足测量要求。
用于真空科学实验装置同心圆三维电动步进扫描系统

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