[实用新型]基于扫描隧道效应的在位测量装置有效
| 申请号： | 201320070913.1 | 申请日： | 2013-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN203310859U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 居冰峰;朱吴乐;杨舜尧;陈远流;张威 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q10/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 扫描 隧道 效应 在位 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于扫描隧道效应的在位测量装置，其特征在于包括气浮主轴（1）、Z向水平移动轴（2）、X向水平移动轴（3）、大理石支架（4）、二维精密手调台（5）、Y方向精密伺服电机（6）、探头夹具（7）、压电陶瓷（8）、前置信号调制单元（9）、扫描探针（10）、被测工件（11）、L形机座（12）；在L形机座（12）上设有气浮主轴（1）、Z向水平移动轴（2）以及X向水平移动轴（3），被测工件（11）通过真空吸盘吸附固定在气浮主轴（1）上，大理石支架（4）固定在X向水平移动轴（3）上，大理石支架（4）上顺次设有二维精密手调台（5）、Y方向精密伺服电机（6）及探头夹具（7），在探头夹具（7）上横向固定压电陶瓷（8），压电陶瓷（8）的末端顺次固定前置信号调制单元（9）和扫描探针（10）。
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