[发明专利]感光性聚硅氧烷组合物及其应用有效
| 申请号： | 201310704085.7 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103901728B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 吴明儒;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/008;G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 姚亮 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明有关一种感光性聚硅氧烷组合物。该感光性聚硅氧烷组合物包含聚硅氧烷聚合物(A)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)，其中，所述氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)每分子包含至少六个(甲基)丙烯酰基；无机粒子(D)，其中，所述无机粒子(D)以第四族元素的氧化物为主要成分；以及溶剂(E)。该感光性聚硅氧烷组合物具有感光度佳及折射率佳的优点。本发明还提供一种于一基板上形成薄膜的方法、一种基板上的薄膜及一种装置。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 聚硅氧烷 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种感光性聚硅氧烷组合物，其包含：聚硅氧烷聚合物(A)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)，其中，所述氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)每分子含有六至十五个(甲基)丙烯酰基；无机粒子(D)，其中，所述无机粒子(D)以第四族元素的氧化物为主要成分，并且所述无机粒子(D)中第四族元素为钛或锆；以及溶剂(E)；其中，基于所述聚硅氧烷聚合物(A)的使用量为100重量份，所述邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的使用量为1至50重量份；所述氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)的使用量为0.1至35重量份；所述无机粒子(D)的使用量为5至120重量份；及所述溶剂(E)的使用量为50至2000重量份。
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