[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置

摘要

本发明涉及显示技术领域，公开了一种TFT阵列基板及其制备方法、以及包括该TFT阵列基板的显示装置，本发明的栅极形成在第一绝缘层的栅极凹槽内，使得栅极被第一绝缘层所包围，图形化的栅极不存在坡度，第一绝缘层将栅极与外界隔离，可防止栅绝缘层的断层，进而有效阻挡薄膜晶体管阵列基板中的铜扩散。进一步地，金属阻挡层完全覆盖复合铜金属或包含铜金属的复合薄膜层的上表面和/下表面，能够起到很好的阻挡铜扩散的作用，同时更重要的是不需要对铜进行刻蚀，降低了成本、提高了良品率。

主权项

一种薄膜晶体管阵列基板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在基板上形成第一绝缘层，并在所述第一绝缘层上形成第一光刻胶层，在形成有第一光刻胶层的第一绝缘层上形成栅极凹槽，所述栅极凹槽的周围被第一绝缘层包围；在具有栅极凹槽的基板上形成栅极层；将形成有栅极层的基板上的第一光刻胶层及第一光刻胶层以上的栅极层剥离，以形成被第一绝缘层包围的栅极。