[发明专利]一种可控前驱物通道

摘要

本发明公开了一种氢化物气相外延（HVPE）喷头设计，更具体地是提供了一种可控前驱物通道。所述通道位于悬挂立式或倒置支撑HVPE系统中，该通道包括前驱物进气口、通道顶部固定端、中心控制棒及通道外壁。所述进气口位于通道顶部与通道外壁顶端之间；所示通道顶部内嵌有一竖直螺柱；所述通道中心位置为控制棒，该控制棒分为上、下两段，上段为顶端带内螺纹套孔的圆柱体，下段为圆锥、圆台、倒圆台或圆柱控制端中的一种；所述通道外壁至少包括直径不相同的两个及以上圆筒，其中第一圆筒直径小于第二圆筒直径，两圆筒之间为过渡段，第二圆筒与裙体扩展段的一端相连。本发明提供的可控前驱物通道能使前驱物在衬底表面的径向分布最佳化，同时扩展前驱物流场调控手段。

主权项

一种氢化物气相外延（HVPE）喷头设计，特别是一种用于控制前驱物流场的通道设计，其特征在于，所述可控前驱物通道包括四部分，其分别为通道外壁、顶部固定端、前驱物进气口和中心控制棒，所述通道外壁分为上、下两段，上段为圆筒状，下段为裙体扩展段；所述前驱物通道顶部为固定端；所述控制棒由上、下两段组成，上段为圆柱体，该圆柱体顶端中心位置带内螺纹套孔，所述控制棒下段为控制端；               所述前驱物可由HCl与液态金属Ga合成，如GaCl；所述前驱物中的一种，其特征在于，该前驱物可为含氮气体，如NH3。