[发明专利]一种可控前驱物通道

权利要求书

1.一种氢化物气相外延（HVPE）喷头设计，特别是一种用于控制前驱物流场的通道设计，其特征在于，所述可控前驱物通道包括四部分，其分别为通道外壁、顶部固定端、前驱物进气口和中心控制棒，所述通道外壁分为上、下两段，上段为圆筒状，下段为裙体扩展段；所述前驱物通道顶部为固定端；所述控制棒由上、下两段组成，上段为圆柱体，该圆柱体顶端中心位置带内螺纹套孔，所述控制棒下段为控制端；               

所述前驱物可由HCl与液态金属Ga合成，如GaCl；

所述前驱物中的一种，其特征在于，该前驱物可为含氮气体，如NH3。

2.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征在于，所述可控前驱物通道位于悬挂立式HVPE系统或倒置支撑HVPE系统中。

3.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征在于，所述通道顶部固定端内嵌一竖直双头螺柱，该螺柱一端固定于顶部固定壁上，而螺柱身段带外螺纹，以便与不同控制棒进行螺柱连接。

4.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征在于，该通道中心位置为一控制棒，该控制棒上段圆柱体顶端内螺纹套孔能与螺柱的外螺纹相吻合，所述控制棒下段控制端为圆锥、圆台、倒圆台或圆柱中的一种。

5.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征在于，设置于该通道中心部的控制棒的上、下两段同轴，且相连处直径相等。

6.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征在于，所述通道前驱物进气口位于顶部固定壁与通道外壁顶端之间，由外围径向进气。

7.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征在于，所述通道外壁位于通道外围与通道径向相交；该通道上段为圆筒状，下段为裙体扩展段，中段为过渡段；该过渡段顶端与上段相连，相连处直径相等，过渡段下端与裙体顶端相连，且相连处直径一致。

8.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征在于，所述通道外壁至少包括直径不同的两个及以上圆筒，其中第一圆筒直径小于第二圆筒直径，所述两圆筒之间通过过渡段相接，相接处直径相等，第二圆筒下段相连于裙体扩展段，其相连处直径相等。

9.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征在于，所述通道工作环境温度为800k~1300k。

10.根据权利要求1所述的可控前驱物通道，其特征还在于，其材质可采用高纯度石英。